ቤት
ምርቶች
0102030405
ኤሌክትሮስታቲክ ቻክ ከተኳሃኝነት ፣ ከፍተኛ-ጥቅጥቅ ያለ ፣ ከፍተኛ መዋቅራዊ ጥንካሬ ከተበጀ
ዋና መለያ ጸባያት
ተኳኋኝነት | ማበጀት | ከፍተኛ ጥግግት | ከፍተኛ መዋቅራዊ ጥንካሬ | ፈጣን የማድረስ ጊዜ | በዋጋ አዋጭ የሆነ
መተግበሪያዎች
ሎን-መተከል | ቀጭን ፊልም | Etch | ሂደት ልማት | የመሳሪያዎች ንድፍ
ዲዛይን እና ማምረት
12 ኢንች ፋብ ትክክለኛ አፈፃፀሙን ለማረጋገጥ፣ እድሳት እና ጥገናን ለማቅረብ እና ልማቱን እና ንድፉን ለማረጋገጥ ደርሷል።
ሴሚኮንዳክተር እና የተቀናጀ የወረዳ ያለውን ሂደት መሣሪያዎች እና ሂደት ቴክኖሎጂ ልማት ጋር, ኦርጋኒክ ፖሊመር ቁሳቁሶች, ብረት oxides እና የሴራሚክስ ቁሳቁሶች እንደ dielectrics በመጠቀም ባህላዊ electrostatic chucks እንደ ሲሊከን wafers, ሰንፔር እና ሲሊከን ካርበይድ እንደ ቁሳቁሶች ጋር ሙሉ በሙሉ ተኳሃኝ አይደሉም. ስለዚህ ከመጀመሪያው፣ ሁለተኛ እና ሶስተኛ ትውልድ ሴሚኮንዳክተር ዋፈር ጋሪዎች ጋር የሚጣጣሙ ኤሌክትሮስታቲክ ቺኮች ቀስ በቀስ ያድጋሉ።
ፖሊመር ኤሌክትሮስታቲክ ቻክ / ማሞቂያ
ፖሊመር dielectric ቁሳዊ (ፖሊመር) በአሁኑ ጊዜ በጣም በስፋት ጥቅም ላይ electrostatic chuck ቁሳዊ ነው, በውስጡ ዝግጅት ሂደት ደግሞ በጣም የበሰለ ነው, ፖሊመር dielectric ቁሳዊ ፖሊመር ማሻሻያ ሕክምና በኋላ, ኤሌክትሪክ, ሜካኒካል, የሙቀት መቋቋም, halogen የመቋቋም ባህሪያት በጣም ይሻሻላሉ. የዲኤሌክትሪክ ቁሳቁስ በሌሎች የተቀናጁ ስራዎች ተቀርጿል, እና ከዚያም በ multistage vacuum ከባድ ሸክም ተደራራቢ እና በውስጣዊ ኤሌክትሮዶች መካከል ጥቅጥቅ ያለ የዲኤሌክትሪክ መከላከያ ሽፋን ይፈጠራል.
ፖሊመር ኤሌክትሮስታቲክ ቻክ
የፖሊሜር ማሻሻያ ቴክኖሎጂ ከፍተኛ የጅምላ ተከላካይነትን እና አንጻራዊ ዳይኤሌክትሪክ ቋሚን ለማግኘት እና የበለጠ የተረጋጋ የማጣበቅ ኃይልን ለማግኘት ይጠቅማል።
ከፍተኛ ጥግግት dielectric ቁሶች ቅንጣት አደጋ ለመቀነስ እና ion እንቅስቃሴ ለመቀነስ ይችላሉ.
የመቆንጠጫ ዕቃዎች ልዩነት ከተለያዩ ቁሳቁሶች ዊንጣዎች መቆንጠጥ ጋር ሊጣጣም ይችላል.
በ halogen እና በፕላዝማ አየር ውስጥ በጣም ጥሩ የዝገት መቋቋም.
ከፍተኛ ወጪ አፈጻጸም, አጭር ተቀባይነት ጊዜ, ምርት ሂደት ልማት እና አዲስ መሣሪያ ልማት ማረጋገጫ ተስማሚ.
ፖሊመር ኤሌክትሮስታቲክ ቻክ ከማሞቂያ ጋር
የበርካታ ማሞቂያ የሙቀት ዞኖችን (እስከ 20 የሙቀት ዞኖች) አቀማመጥ መገንዘብ ይችላል, እና ጥሩ የማሞቂያ ሙቀት ተመሳሳይነት (± 5% ℃ @ 150 ℃).
የቫኩም ላሚንግ ቴክኖሎጂ እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥንካሬን እና እስከ 200 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ የሙቀት መጠን ለመድረስ ያገለግላል.
ዩኒፎርም የማሞቂያ ከርቭ፣ ሰፋ ባለ የሙቀት ከርቭ ቅንጅቶች።
ከፍተኛ ወጪ አፈጻጸም, አጭር ተቀባይነት ጊዜ, ምርት ሂደት ልማት እና አዲስ መሣሪያ ልማት ማረጋገጫ ተስማሚ.
ሴራሚክስ ኤሌክትሮስታቲክ ቻክ / ማሞቂያ
የሴራሚክ coagulation ቴክኖሎጂ በአሉሚኒየም / አሉሚኒየም ናይትራይድ ሴራሚክ ኤሌክትሮስታቲክ ቸኮች እና ማሞቂያዎች እድገት ውስጥ የተሻሻለ የማጣመም ሂደት ነው። ዋናው ነገር የተለያዩ የናኖሜትር ዲያሜትር የሴራሚክ ዱቄቶችን መጠቀም ነው, እነሱም በተወሰነ መጠን በልዩ ድብልቅ መሳሪያዎች እና ቅልቅል ሂደት ውስጥ ይደባለቃሉ. ከፍተኛ ጥግግት ጋር ሴራሚክ ኤሌክትሮስታቲክ chucks, የተረጋጋ ክሪስታል መዋቅር እና ወጥ resistivity ስርጭት ጋር አንድ የተወሰነ sintering የሙቀት ጥምዝ ጋር sintering መሣሪያዎች ውስጥ. በሴራሚክ coagulation ቴክኖሎጂ የሚመረተው የማይንቀሳቀስ chuck ከፍተኛ ጥግግት, የተረጋጋ ክሪስታል መዋቅር እና ወጥ መጠን resistivity ስርጭት አለው, እና ከፍተኛ ቫክዩም, ፕላዝማ እና halogen ስር ጨካኝ አካባቢ ውስጥ ቺፕ ያለውን መደበኛ clamping ተግባር መገንዘብ ይችላል.
አል₂ኦ₃ ኤሌክትሮስታቲክ ቻክ
የድምፁን የመቋቋም አቅም የሚቆጣጠረው በ coagulation ceramic ቴክኖሎጂ እና በመተባበር ሂደት ረዘም ያለ የማቆያ ኃይል ለማግኘት ነው።
ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው ውስጣዊ መዋቅር ጥቅጥቅ ያለ እና ክሪስታል መዋቅር የተረጋጋ ነው, እና ትልቅ የሙቀት ክፍተት የመያዝ አቅም ሊገኝ ይችላል.
የተቀናጀ የጋራ መተኮስ መቅረጽ ion ፍልሰትን ይቀንሳል።
በፕላዝማ halogen vacuum ከባቢ አየር ውስጥ ዘላቂ ቀዶ ጥገና.
አልኤን ኤሌክትሮስታቲክ ቻክ
የኮንክሪት ቁሳቁሶቹን ስብጥር እና መጠን በመቆጣጠር የድምፅ መከላከያውን መቆጣጠር እና በትልቅ የሙቀት ልዩነት ውስጥ የመያዝ አቅምን ማግኘት ይቻላል.
ወጥ የሆነ የሙቀት ዞን ስርጭት በሲሚንቶ ሴራሚክስ ቴክኖሎጂ እና በጋር ማቃጠል ሂደት የተረጋገጠ ነው.
የምርት ጥራትን ከፍ ለማድረግ የተቀናጀ የጋራ መተኮስ መቅረጽ።
በፕላዝማ halogen vacuum ከባቢ አየር ውስጥ ዘላቂ ቀዶ ጥገና.
ሴራሚክስ ኤሌክትሮስታቲክ ቻክ ከማሞቂያ ጋር
የበርካታ ማሞቂያ የሙቀት ዞኖችን አቀማመጥ ሊገነዘበው ይችላል, እና ጥሩ የሙቀት ሙቀት ተመሳሳይነት (± 7.5% ℃ @ 350 ℃) አለው.
የቫኩም ላሚንቲንግ ሲንቴሪንግ ቴክኖሎጂ እጅግ በጣም ከፍተኛ የሆነ የመጠን እና የሙቀት መጠን እስከ 550 ℃ ድረስ ለማሞቅ ያገለግላል።
የምርት ጥራትን ከፍ ለማድረግ የተቀናጀ የጋራ መተኮስ መቅረጽ።
በፕላዝማ halogen vacuum ከባቢ አየር ውስጥ ዘላቂ ቀዶ ጥገና.
ውስብስብ ዓይነት ኤሌክትሮስታቲክ ቻክ / ማሞቂያ
ከሲሊኮን ፣ ጋሊየም አርሴንዲድ ፣ ሲሊኮን ካርቦይድ ፣ ሰንፔር ኦፍ ዋፈር ክላምፕንግ ጋር ተኳሃኝ ሊሆን ይችላል የመሣሪያ አምራቾች እና የመጨረሻ ተጠቃሚዎች የሽቦ ለውጥ ወጪዎችን ሊቀንስ ይችላል። በኮንክሪት የሴራሚክ ቴክኖሎጂ እና ፖሊመር ማሻሻያ ቴክኖሎጂ ላይ በመመርኮዝ የተቀናጀ የቫኩም ላሜሽን እና የሙቅ ትስስር ቴክኖሎጂን መጠቀም የኤሌክትሮስታቲክ ሱከርን ውስጣዊ የሙቀት መቋቋምን ሊቀንስ ፣ የውስጥ የሙቀት መጠኑን ማሳካት ፣ የ ion ፍልሰት የመቋቋም አፈፃፀምን ለማሻሻል ጥቅጥቅ ያለ የዲኤሌክትሪክ ማገጃ ንብርብር ይፈጥራል።
ውስብስብ ዓይነት ኤሌክትሮስታቲክ ቻክ
የኮንክሪት ሴራሚክ እና ፖሊመር ማሻሻያ ቴክኖሎጂን መጠቀም, ከፍተኛ ጥቅጥቅ ያለ መዋቅር እና ዝቅተኛ የጋዝ ልቀት አለው.
የዲኤሌክትሪክ ሽፋን እና የኤሌክትሮል ባንክ ውፍረት ጥብቅ ቁጥጥር.
የመቆንጠጫ እቃዎች ልዩነት ከተለያዩ ቫፈርዎች መቆንጠጥ ጋር ሊጣጣም ይችላል.
ጠንካራ ኤሌክትሮስታቲክ የመያዝ አቅም ለማግኘት የሰውነት ተቃውሞ በትክክል መቆጣጠር ይቻላል.
ከፍተኛ ወጪ አፈጻጸም, አጭር ተቀባይነት ጊዜ, ምርት ሂደት ልማት እና አዲስ መሣሪያ ልማት ማረጋገጫ ተስማሚ.
ውስብስብ ዓይነት ኤሌክትሮስታቲክ ቻክ ከማሞቂያ ጋር
የበርካታ ማሞቂያ የሙቀት ዞኖችን አቀማመጥ ሊገነዘበው ይችላል, እና ጥሩ የሙቀት ሙቀት ተመሳሳይነት (± 3.5% ℃ @ 150 ℃) አለው.
የቫኩም ላሚንግ ቴክኖሎጂ እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥንካሬን እና እስከ 200 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ የሙቀት መጠን ለመድረስ ያገለግላል.
ዩኒፎርም የማሞቂያ ከርቭ፣ ሰፋ ባለ የሙቀት ከርቭ ቅንጅቶች።
ከፍተኛ ወጪ አፈጻጸም, አጭር ተቀባይነት ጊዜ, ምርት ሂደት ልማት እና አዲስ መሣሪያ ልማት ማረጋገጫ ተስማሚ.