تأسست ASML في 1 أبريل 1984 تحت اسم ASM Lithography. تتمثل مهمة هذا المشروع المشترك بين Philips وASM International في تسويق جهاز PAS 2000، وهو جهاز خطوة الويفر الذي طورته شركة Philips...
ترسيب الأغشية الرقيقة هو ترسيب طبقة من الفيلم النانوي على الركيزة، ثم عمليات متكررة مثل الحفر والتلميع، لصنع الكثير من الأغشية الموصلة أو العازلة المكدسة.
