يتم تركيز الليزر على الرقاقة، ويضيء نقطة ضوئية، ويتم إعادة تركيز الضوء المنعكس على المستوى المستقبل، ومن خلال تحليل الضوء، يتم تحديد سطح رقاقة السيليكون...
إن خصائص الجودة البلورية عالية الجودة للطبقة الفوقية SiC تجعل الطبقة الفوقية يجب أن تحتوي على بنية بلورية عالية النقاء وكثافة عيوب منخفضة لضمان الموثوقية.
