يشير Epitaxy إلى تقنية نمو البلورات أو ترسيب المواد التي تحتل مكانة مهمة للغاية في عمليات تصنيع الإلكترونيات الدقيقة والإلكترونيات الضوئية
تعد تقنية CMP (التلميع الميكانيكي الكيميائي) عملية أساسية لتحقيق أسطح موحدة ومسطحة عالميًا في تصنيع أشباه الموصلات
