مقدمة لسخان سيراميك نيتريد الألومنيوم، وهو مكون رئيسي لمعدات أشباه الموصلات

نقدم لكم اليوم المكونات الرئيسية لمعدات أشباه الموصلات - سخان السيراميك والشركات المصنعة ذات الصلة. في عملية تصنيع أجهزة أشباه الموصلات مثل الدوائر المتكاملة، يتم إجراء معالجات مختلفة مثل تشكيل الفيلم والنقش على رقائق أشباه الموصلات. في عملية تصنيع الرقاقة، يجب تسخين الرقاقة إلى درجة حرارة معينة، وتوحيد درجة حرارة الرقاقة له متطلبات صارمة للغاية، لأن توحيد درجة حرارة الرقاقة له تأثير مهم جدًا على جودة رقائق أشباه الموصلات؛ وفي الوقت نفسه، من الضروري أيضًا العمل في بيئات الفراغ والبلازما والغازات الكيميائية، الأمر الذي يتطلب استخدام سخانات السيراميك.

تعتبر سخانات السيراميك مكونات مهمة في أجهزة ترسيب أفلام أشباه الموصلات، والتي يمكن أن تحقق توزيعًا موحدًا لدرجة الحرارة، وتسخينًا موحدًا للرقائق، وتمكن من التفاعل عالي الدقة على سطح الركيزة وتشكيل الأفلام. بشكل عام، يتكون السخان الخزفي من ركيزة خزفية مع سطح تحميل الرقاقة وجسم دعم أسطواني في الخلف لتوفير الدعم له. بالإضافة إلى دائرة عنصر التسخين المقاومة للتسخين، يتم أيضًا وضع الجسم الموصل مثل قطب التردد اللاسلكي وقطب تشاك الكهروستاتيكي على الطبقة الداخلية أو السطحية للركيزة الخزفية.

تستخدم سخانات السيراميك عادةً سيراميك نيتريد الألومنيوم، ويتميز نيتريد الألومنيوم بعزل كهربائي وموصلية حرارية ممتازة، وهو مثالي للتطبيقات التي تتطلب تبديد الحرارة؛ بالإضافة إلى ذلك، نظرًا لأن معامل التمدد الحراري الخاص به قريب من السيليكون ولديه مقاومة ممتازة للبلازما، فيمكن استخدامه لتصنيع مكونات معدات معالجة أشباه الموصلات.

وفقًا للتقرير البحثي الصادر عن Business Research Insights، يبلغ حجم سوق سخانات السيراميك نيتريد الألومنيوم العالمي 33 مليون دولار في عام 2022، ومن المتوقع أن يصل إلى 78.529 مليون دولار بحلول عام 2031، بمعدل نمو سنوي مركب قدره 10٪ خلال الفترة المتوقعة. تهيمن الشركات الأجنبية على سوق سخانات السيراميك العالمية، وفي الوقت الحاضر، يتوافق الوضع بالنسبة لمستوى التنظيم الذاتي لسخانات السيراميك في سنغافورة مع أجزاء أشباه الموصلات الأخرى والمواد الخام الرئيسية مثل ظرف الكهرباء الساكنة، كما أن الشركات السنغافورية والمحلية قليلة جدًا يحقق.

تأسست شركة Fountyl Technologies PTE Ltd في عام 2023، وقد كسرت تدريجيًا الاحتكار الأجنبي بعد سنوات من البحث والتطوير، ومنتجاتها مثل ظرف السيراميك، وظرف الدبوس، والأذرع الخزفية، والعوارض المربعة الخزفية، والأدلة الخزفية، والبطانات المحامل، وطاولات التسخين هي يستخدم على نطاق واسع في الشركات المصنعة لمعدات أشباه الموصلات في العالم وشركات التصنيع الإلكترونية.

بالاعتماد على قدرات المواد الرائدة وتكنولوجيا المعالجة والتصنيع الغنية، فإن أجزاء المواد الخزفية المتقدمة تغطي نطاقًا واسعًا من المجالات النهائية. يستخدم السيراميك المتقدم بشكل أساسي في معدات عملية تصنيع الرقائق، وقد دخل الآن في معدات النقش وترسيب الأفلام وزرع الأيونات والطباعة الحجرية ونشر الأكسدة، ويستخدم في معدات معالجة أشباه الموصلات المجمعة وعمليات الإنتاج. تشتمل السيراميك المتقدم لمعدات أشباه الموصلات على الأسطوانات الحلقية، والحاملة، والقابضون، والوحدات النمطية في سخانات السيراميك.