مقدمة عن تطبيق السيراميك الدقيق لأشباه الموصلات

يعتبر السيراميك المتقدم أساس صناعة أشباه الموصلات بأكملها. نظرًا لأن السيراميك يتمتع بمزايا الصلابة العالية، ومعامل المرونة العالي، ومقاومة التآكل العالية، والعزل العالي، ومقاومة التآكل، والتمدد المنخفض...إلخ، فيمكن استخدامه كأجزاء من آلة تلميع السيليكون، ومعدات المعالجة الحرارية الفوقي/الأكسدة/الانتشار ، آلة الطباعة الحجرية، معدات الترسيب، معدات حفر أشباه الموصلات، آلة زرع الأيونات. تتطلب أجهزة أشباه الموصلات عددًا كبيرًا من المكونات الخزفية الدقيقة. تشمل سيراميك معدات أشباه الموصلات الألومينا والزركونيا ونيتريد السيليكون ونيتريد الألومنيوم وكربيد السيليكون وأكسيد الإيتريوم ... إلخ. وفي معدات أشباه الموصلات، تبلغ قيمة السيراميك الدقيق حوالي 16%. تعد معدات أشباه الموصلات الدعم الرئيسي لسلسلة صناعة أشباه الموصلات وحجر الزاوية في تصنيع أشباه الموصلات، ويتوقع أحدث تقرير لـ SEMI أن مبيعات معدات أشباه الموصلات العالمية ستبلغ 87 مليار دولار في عام 2023 إلى 87.4 مليار دولار، وسيتم استردادها إلى 100 مليار دولار في عام 2024.

مع التطور النشط لصناعة أشباه الموصلات المحلية، قامت مسابك الرقائق ببناء مصانع في جنوب شرق آسيا، مما أدى إلى تحسين مواد أشباه الموصلات والمعدات الداعمة، وتخصيص موارد سلسلة التوريد الأجنبية للإمالة المحلية، ولكن أيضًا ظهور العديد من الشركات المحلية الممتازة الشركات المصنعة لمعدات أشباه الموصلات، في ظل اتجاه التنمية المحلية، سيزداد الطلب على الأجزاء الخزفية الدقيقة لمعدات أشباه الموصلات.

نظرًا لموقعها وأهميتها في معدات أشباه الموصلات، يجب أن تلبي الأجزاء الخزفية المتقدمة متطلبات الأداء الشامل لمعدات أشباه الموصلات للمواد في الميكانيكا الميكانيكية والحرارة والعزل الكهربائي ومقاومة الأحماض والقلويات وتآكل البلازما، ومتطلبات الدقة العالية، لأن الأجزاء الخزفية في أشباه الموصلات عادةً ما تكون المعدات قريبة جدًا من الرقاقة، وبعضها يتصل مباشرة بالرقاقة. ولذلك، فإن التحكم في أيونات المعادن والجسيمات الموجودة على سطحه صارم للغاية. بالإضافة إلى ذلك، نظرًا لأن إنتاج المكونات الخزفية لأجهزة أشباه الموصلات يتطلب شهادة الشركة المصنعة للمعدات الأصلية، لذلك، فهو ينتمي إلى الصناعة ذات عتبة التفرد العالية، بالإضافة إلى ذلك، في مجال تعبئة واختبار أشباه الموصلات، يمكن أيضًا استخدام المواد الخزفية في بطانات تعبئة أجهزة أشباه الموصلات الكهربائية وبطاقات مسبار الاختبار.

تشمل سلسلة صناعة السيراميك لأشباه الموصلات معالجة رقائق أشباه الموصلات، وأجهزة أشباه موصلات الطاقة، والتعبئة والاختبار لمؤسسات التطبيقات النهائية؛ معدات الطباعة الحجرية، معدات نشر الأكسدة، معدات النقش، معدات النقش الجاف، معدات زرع الأيونات، معدات ترسيب الأفلام، معدات PVD، معدات CVD، معدات ترسيب الطبقة الذرية (ALD)، معدات التلميع الميكانيكية الكيميائية، معدات التلدين بالليزر لمعدات أشباه الموصلات المتطورة الشركات؛ معدات تحضير المسحوق، الخلاط، آلة الصنفرة، آلة ثلاثية الأسطوانات، معدات التحبيب بالرش، آلة القولبة بالحقن، آلة الصب، معدات الترقق، معدات الضغط الجاف، قولبة الحشو، معدات الضغط المتوازن، معدات طباعة الشاشة، إزالة الدهن، معدات التلبيد، CNC، آلة الطحن، معدات التلميع، معدات السفع الرملي، معدات اللحام الفراغي، أدوات التثبيت لمعدات الإنتاج وملحقاتها؛ أجزاء السيراميك (ذراع المناولة، ظرف إلكتروستاتيكي، سخان السيراميك، حلقة البطانة، الفوهة، الغرفة، بطاقة المسبار، شظية السيراميك...إلخ)، سيراميك الألومينا، السيراميك المسامي، سيراميك الزركونيا، سيراميك نيتريد الألومنيوم، سيراميك نيتريد السيليكون، كربيد السيليكون السيراميك، سيراميك كربيد السيليكون الألومنيوم...إلخ.