طاحونة المرآة الرئيسية لأشباه الموصلات لجهاز CMP

تعد تقنية CMP (التلميع الميكانيكي الكيميائي) عملية أساسية لتحقيق أسطح موحدة ومسطحة عالميًا في تصنيع أشباه الموصلات. فهو يزيل المواد الزائدة من سطح الرقاقة من خلال العمل التآزري للتآكل الكيميائي والطحن الميكانيكي لتحقيق التسطيح العالمي على مقياس النانو. تتكون عملية CMP من ثلاث خطوات رئيسية: التلميع والتنظيف والنقل. أثناء عملية التلميع، يتفاعل التركيب الكيميائي لسائل التلميع مع مادة سطح الرقاقة لتشكيل طبقة يمكن إزالتها ميكانيكيًا، ثم تقوم وسادة التلميع بإزالة هذا الغشاء ميكانيكيًا لتحقيق سطح أملس. يمكن تقسيم أجهزة CMP إلى أجهزة متوافقة مقاس 8 بوصة و12 بوصة و6/8 بوصة وفقًا لمتطلبات التطبيق.

الأسواق والشركات الكبرى

السوق الرئيسي لمعدات CMP يأتي من ثلاثة قطاعات، معدات CMP لتصنيع رقائق السيليكون، معدات CMP لمسبك الرقاقات، ومعدات CMP لتصنيع ركيزة كربيد السيليكون. مع التخفيض المستمر في عملية تصنيع الدوائر المتكاملة، يتزايد الطلب على عملية CMP تدريجيًا، خاصة في تصنيع الرقائق المنطقية، ويزداد عدد خطوات عملية CMP لعقد العملية المتقدمة بشكل ملحوظ. يستمر سوق CMP في النمو من حيث الحجم. وعلى وجه الخصوص، من المتوقع أن تتجاوز الطاقة الإنتاجية الجديدة في البر الرئيسي معدل نمو سوق البر الرئيسي.

يتم احتكار سوق معدات CMP العالمية بشكل كبير، بشكل رئيسي من قبل شركة Applied Materials، الشركة الرائدة عالميًا في سوق معدات CMP، والتي توفر حلول CMP المتقدمة، وتغطي منتجاتها مجموعة متنوعة من التطبيقات بدءًا من العمليات الناضجة وحتى العمليات المتقدمة. حصلت شركة Ebara، اليابان، على براءة اختراع لتكنولوجيا التجفيف الداخلي/التجفيف التدريجي، ومنتجاتها معروفة بموثوقيتها العالية وكفاءتها الإنتاجية. ويمثلون معًا أكثر من 90٪ من السوق.

في مجال العمليات الناضجة، كسرت الشركات المحلية احتكار الشركات الأجنبية العملاقة وحصلت على حصة معينة في السوق. تشمل الشركات المصنعة المحلية لمعدات CMP بشكل رئيسي شركة Huahai Qingke، التي حققت التطبيق الصناعي لعملية 28 نانومتر، ويتم التحقق من تكنولوجيا المعالجة 14 نانومتر، وهي الشركة المصنعة الوحيدة التي يمكنها توفير معدات CMP مقاس 12 بوصة في الصين. توفر Sco Precision معدات CMP لجميع متطلبات عملية التسطيح المعقدة في تصنيع الدوائر المتكاملة، مما يدعم إنتاج الدوائر المتكاملة من عقد معالجة تبلغ 0.09-0.35 ميكرون. أطلقت شركة Jingyi Precision، مورد معدات CMP مقاس 8 بوصة، أول معدات الإنتاج الضخم لخط إنتاج CMP مقاس 8 بوصة محليًا مع حقوق الملكية الفكرية المستقلة. نجحت شركة Hangzhou ZhongSI في تطوير أجهزة CMP مقاس 6 بوصات و8 بوصات و12 بوصة للدوائر المتكاملة ورقائق السيليكون الكبيرة وأشباه الموصلات من الجيل الثالث.

رأي:

1. ترقية عملية الرقاقة، سيكون تطبيق معدات CMP أكثر تكرارًا، ومساحة السوق، وخاصة مساحة السوق المحلية آخذة في النمو

2. تستمر تكنولوجيا المعدات المحلية في التحسن، ويزداد نضج المعدات المحلية

3. كما نعلم جميعًا، هناك العديد من الشركات المحلية التي يمكنها تحقيق ذلك، وبدأ السوق في الظهور، ومستقبل الشركات الرائدة في مجال التكنولوجيا أو الشركات التي تفتح مجالات تطبيقية جديدة يستحق التوقع.

تركز Fountyl Technologies PTE Ltd، على صناعة تصنيع أشباه الموصلات، وتشمل المنتجات الرئيسية: ظرف الدبوس، ظرف السيراميك المسامي، المستجيب النهائي الخزفي، العارضة المربعة الخزفية، المغزل الخزفي، مرحبًا بكم في الاتصال والتفاوض!