يعد الفراغ مهمًا جدًا في صناعة أشباه الموصلات، ففي صناعة أشباه الموصلات، يتم استخدام بيئة الفراغ في عمليات مختلفة، بما في ذلك الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD)، والكيميائي...
تحتاج عملية أشباه الموصلات بأكملها إلى التنظيف بشكل متكرر، وتتم عملية التنظيف من خلال صناعة أشباه الموصلات، وهو ما يمثل أكثر من 30% من إجمالي عملية الإنتاج.
