حجم المسام لمادة السيراميك المسامية الخاصة هو 2 ~ 3 ميكرون، ومن الصعب توصيلها بقوة فراغ كبيرة وامتصاص جزئي للمنطقة. ويمكن استخدامه أيضًا كطائرة عائمة بالهواء ...
تأسست ASML في 1 أبريل 1984 تحت اسم ASM Lithography. تتمثل مهمة هذا المشروع المشترك بين Philips وASM International في تسويق جهاز PAS 2000، وهو جهاز خطوة الويفر الذي طورته شركة Philips...
