Ev
Əsas məhsul
0102030405
Mikroməsaməli keramika vakuum çubuq
Seramik vakuum çuxurunun xüsusiyyətləri
Güclü keçiricilik: sürüşmədən üyüdülmə prosesində silikon vaflinin vahid qüvvəsini və möhkəm adsorbsiyasını təmin etmək üçün vahid hava keçiriciliyi və su keçiriciliyi.
Sıx və vahid quruluş: Silikon tozunu udmaq asan olmayan, sıx və vahid quruluşa malik mikro məsaməli keramika materialının qəbulu və çuxurun təmizlənməsi asandır.
Yüksək möhkəmlik: daşlama zamanı heç bir deformasiya olmaması, silisium vaflisinin daşlama zamanı hər bir nöqtədə bərabər şəkildə gərginləşməsini təmin etmək və kənarın çökməsi, zibil hadisələrinin baş verməsi asan deyil.
Uzun ömür: səth formasının saxlanması yaxşıdır, sarğı dövrü uzundur və sarğı miqdarı azdır, buna görə də yüksək ömrü var.
Asan sarğı: sarğı zamanı heç bir çatlama, parçalanma, xırmanlanma hadisələri olmayacaq.
Yüngül: Məsamələrin daxili quruluşuna görə xüsusi çəkisi əmsalı 1,6-2,8-dir.
Yüksək izolyasiya: izolyasiya materialı, statik elektriki aradan qaldırır.
Dəqiqliyə Nəzarət
| kateqoriya | Əsas material | Adsorbsiya səthi materialı | Ölçü | Yastılıq | paralelliyin dərinliyi |
| Məsaməli çubuq | Alüminium ərintisi | Məsaməli SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
| Paslanmaz polad | ≤10μm | ≤15μm | |||
| Alüminium oksidi | ≤5μm | ≤8μm | |||
| Silikon karbid | ≤3μm | ≤8μm | |||
| Məsaməli keramika çəngəl 3 düymlük xətt, 4 düymlük xətt, 5 düymlük xətt, 6 düymlük xətt, 8 düymlük xətt və 12 düymlük xəttdə istifadə edilə bilən tam xüsusiyyətlərə və ölçülərə malikdir. sizə lazım olan spesifikasiyalara və ölçülərə uyğun olaraq düzəldilə bilər. | |||||
| Cari korpusun maksimum ölçüsü: 1600*1600m, qalınlığı 50mm; | |||||
Məsaməli keramika materialının xüsusiyyətləri:
Əsas maddələr: alüminium oksidi Rəng: qara, dəmir boz
Alüminium oksidi tərkibi: 92% Rütubət: 0%
Diyafram: 2~30um Məsaməlik: 35~40%
Bükülmə gücü: 6kgf/sm2 (Mpa) Həcm nisbəti: 2.28g/sm3
Seramik çubuq növü
İstifadəyə görə, keramika çubuqları aşağıdakılara bölünür:
İncəlmə maşını aşağıdakılarla təchiz edilmişdir: aşındırıcı disk çubuq, silikon vafli, sapfir substrat və digər incəlmə;
Kəsmə maşını aşağıdakılarla təchiz edilmişdir: cızma çubuq, silikon vafli, yarımkeçirici birləşmə vafli və digər kəsmə;
Təmizləmə maşını ilə təchiz olunmuşdur: təmizləyici çubuq;
Film çıxaran maşın aşağıdakılarla təchiz edilmişdir: film çıxaran çubuq;
Laminasiya maşını ilə təchiz olunmuşdur: laminasiya çubuq;
Çap maşını ilə təchiz olunmuşdur: çap çəni.
Keyfiyyət təminatı
Fountyl keramika çubuqları üçün istehsalın sabitliyini və məhsulun tutarlılığını təmin etmək üçün mühəndislik keramika dəqiqliyi və ultra dəqiqlikli emal və istehsal, müxtəlif fiziki və kimyəvi analiz alətləri və həndəsi ölçmə alətləri üzrə uzun illər texniki təcrübəyə malikdir.
Məhsul tətbiqi
Məsaməli çubuq (adsorbsiya iş masası) yarımkeçirici istehsal mərhələsində istifadə olunan və cızma maşınına və ya yoxlama cihazına yığılmış komponentdir. Nazik silikon vaflini düz saxlamaq üçün dəzgahın səthinin məsaməli strukturundan və mənfi təzyiqindən istifadə edə bilən məhsuldur. Skriping maşını təxminən 20μm enində silikon vafli kəsir, buna görə də vafli adsorbsiya səthinin düzlüyünə və paralelliyinə tələb çox yüksəkdir. Müvafiq xüsusiyyətlərinə görə, müxtəlif məsamə strukturları müxtəlif tətbiq diapazonlarına malikdir, məsələn, geniş xüsusi səth sahəsi və kiçik məsamə ölçüsü olan mikroməsaməli keramika, adətən bakterial filtrasiya və mikrob fiksasiya sahələrində istifadə olunur; Spesifik diametr paylanması ilə mezoporoz keramika tez-tez ayırma, adsorbsiya kataliz sahələrində istifadə olunur. Makro gözenekli keramika adətən böyük tərkibli və böyük ölçülü maddələrin kobud filtrasiyası üçün uygundur.