Ev
Əsas məhsul
Ultra dəqiq hərəkət platforması və aşkarlama avadanlığı üçün kvadrat şüa və bələdçi rels
Nümunə olaraq vakuum çubuq qurğusunu götürsək, ən erkən 2 düym və 4 düymlük vafli dövründə istifadə olunan material aviasiya alüminiumudur, lakin böyük ölçülü dövrlərdə ultra yüksək düzlük (1 mikrondan daha yaxşı) darboğazı ilə qarşılaşmışdır. vaflilər (8 "və 8-dən çox"), ultra yüksək yastılığın sərt indeksinə uyğun gəlmir və aradan qaldırılır. Next, bir keçid kimi alüminium material, onun elastik modulu, yüngül, istilik keçiriciliyi və genişləndirilməsi əmsalı və silisium karbid cırtdan, lakin bəzi utandırıcı deyil; İri ölçülü və mürəkkəb xüsusi formalı içi boş strukturlu silisium karbid keramikanın hazırlanması texnologiyasındakı irəliləyişdən sonra, ultra dəqiq iş parçasının bazası, ultra dəqiqlikli hava üzən bələdçi və vafli ötürücü qolu daxil olmaqla komponentlər təkmilləşdirilmişdir.
Yarımkeçirici sənayesində vafli diffuziya, dopinq, aşındırma prosesləri üçün tələb olunan yüksək təmizlikli silisium karbid keramika hissələri üçün təkcə düzlük, paralellik və şaqulilik üzrə ultra yüksək dəqiqlikli sərt göstəricilərə cavab verən yuxarıda qeyd olunan silisium karbid keramika hissələri deyil. , xüsusilə yüksək saflıqda CVDSiC material hazırlamaq texnologiyasında, yetkin bir proses texnologiyasına malikdir və yüksək saflıqda silisium karbid keramika kristal qayıq, silisium karbid keramika daşıyıcı lövhə, silisium karbid keramika hava üzən hərəkət platforması, silisium karbid ultra istehsalını həyata keçirmişdir. -dəqiq hərəkət edən platforma, silisium karbid bələdçi dəmir yolu, silisium karbid sürüşmə rels komponentləri.
Gələcəkdə biz yarımkeçirici sənayesində silisium karbid materiallarının tətbiqini daha da genişləndirəcəyik və yarımkeçirici sənaye zəncirinin və silisium karbid keramika sənayesinin təkmilləşdirilməsinə töhfə verəcəyik. Çinin dəqiq silisium karbid keramika komponentlərinin müstəqil tədqiqatı və yerli tətbiqi təşviqi yeni başlamışdır, yarımkeçirici sənayenin güclü inkişafı ilə bu cür yüksək səviyyəli keramika strukturuna bazar tələbi getdikcə daha böyük olacaqdır, əla fiziki və silisium karbid. kimyəvi xassələri, yarımkeçirici sənayesində geniş tətbiq perspektivlərinə malikdir.
Silikon karbid keramika yalnız otaq temperaturunda yüksək əyilmə gücü, əla oksidləşmə müqaviməti, yaxşı korroziyaya davamlılıq, yüksək aşınma müqaviməti və aşağı sürtünmə əmsalı kimi əla mexaniki xüsusiyyətlərə malik deyil, həm də yüksək temperaturda mexaniki xüsusiyyətlərə (güc, sürünmə müqaviməti və s.) ən məşhur keramika materiallarıdır. Silikon karbid korroziyaya davamlılıq, yüksək temperatur müqaviməti, yüksək möhkəmlik, yaxşı istilik keçiriciliyi, təsir müqaviməti ... və s.
İş parçasının masa quruluşu üçün litoqrafiya maşınının tələbləri: Ultra yüngül (hərəkət ətalətini azaldır, mühərrik yükünü azaldır), ultra yüksək sabitlik (ultra dəqiqlikli emal yüksək dəqiqlikli hərəkət və yerləşdirmə tələb edir, istilik genişlənməsinin minimal ölçülü deformasiyasını və digər amilləri tələb edir) ), təmizlik (yüksək sərtlik və yüksək aşınma müqaviməti), Fotolitoqrafiya maşını ilə təmsil olunan inteqral sxem istehsalının əsas avadanlıqları üçün böyük ölçülü, içi boş nazik divar, mürəkkəb quruluş və dəqiq silisium karbid struktur hissələrinin texniki tələblərinə cavab verə bilər.
Fountyl imkanları
Maksimum ölçü:1600 mm.
Struktur fərdiləşdirmə:yüngül struktur, çəki azaltmaq üçün dizayn edilə bilər.
Yüksək dəqiqlik:Düzlük 5 mikron və ya daha yüksək dəqiqliklə idarə oluna bilər.