У дома
Продукти
Електростатичен патронник със съвместимост, висока плътност, висока структурна здравина с персонализирани
Характеристика
Съвместимост | Персонализиране | Висока плътност | Висока структурна якост | Бързо време за доставка | Рентабилен
Приложения
Лон-имплантация | Тънък филм | Етч | Развитие на процеса | Проектиране на оборудване
Проектиране и производство
12-инчов Fab, доставен за проверка на действителната производителност, осигуряване на регенерация и ремонт и проверка на разработката и дизайна.
С развитието на технологичното оборудване и технологичните процеси на полупроводници и интегрални схеми, традиционните електростатични патронници, използващи органични полимерни материали, метални оксиди и керамични материали като диелектрици, не са напълно съвместими с такива материали като силициеви пластини, сапфир и силициев карбид. Поради това постепенно ще се развият електростатични патронници, съвместими с първо, второ и трето поколение захващащи устройства за полупроводникови пластини.
Полимерен електростатичен патронник/нагревател
Полимерният диелектричен материал (полимер) в момента е най-широко използваният електростатичен материал за патронник, процесът на неговото приготвяне също е най-зрелият, полимерен диелектричен материал след обработка с полимерна модификация, електрическа, механична, температурна устойчивост, свойства на устойчивост на халоген ще бъдат значително подобрени. Диелектричният материал се моделира чрез други интегрирани операции и след това се наслоява чрез многоетапно вакуумно тежко натоварване и се образува плътен диелектричен изолационен слой между вътрешните електроди.
Полимерен електростатичен патронник
Технологията за модифициране на полимер се използва за постигане на по-високо обемно съпротивление и относителна диелектрична константа и получаване на по-стабилна сила на затягане.
Диелектричните материали с висока плътност могат да намалят риска от прахови частици и да намалят подвижността на йони.
Разнообразието от затягащи обекти може да бъде съвместимо със затягането на пластини от различни материали.
Отлична устойчивост на корозия в халогенни и плазмени атмосфери.
Висока производителност на разходите, кратък период на приемане, подходящ за разработване на продуктови процеси и проверка на разработването на ново оборудване.
Полимерен електростатичен патронник с нагревател
Той може да реализира оформлението на множество температурни зони на нагряване (до 20 температурни зони) и има добра равномерност на температурата на нагряване (±5%℃@150℃).
Технологията на вакуумно ламиниране се използва за постигане на изключително висока плътност и температури на нагряване до 200°C.
Еднаква отоплителна крива, с по-широк диапазон от настройки на температурната крива.
Висока производителност на разходите, кратък период на приемане, подходящ за разработване на продуктови процеси и проверка на разработването на ново оборудване.
Керамичен електростатичен патронник/нагревател
Технологията за керамична коагулация е подобрен процес на синтероване при разработването на керамични електростатични патронници и нагреватели от двуалуминиев оксид/алуминиев нитрид. Неговото ядро е да използва различни керамични прахове с нанометров диаметър, които се смесват в определена пропорция чрез уникално оборудване за смесване и процес на смесване. Керамични електростатични патронници с висока плътност, стабилна кристална структура и равномерно разпределение на съпротивлението бяха синтеровани с определена температурна крива на синтероване в оборудване за синтероване. Статичният патронник, произведен чрез технология за керамична коагулация, има висока плътност, стабилна кристална структура и равномерно разпределение на обемното съпротивление и може да реализира нормалната функция на затягане на чипа в тежка среда при висок вакуум, плазма и халоген.
Al₂O₃ Електростатичен патронник
Обемното съпротивление се контролира чрез коагулационна керамична технология и процес на съвместно изпичане, за да се получи по-дълга сила на задържане.
Вътрешната структура на високотемпературното синтероване е плътна и кристалната структура е стабилна и може да се получи капацитет за задържане на по-голям температурен интервал.
Интегрираното формоване при съвместно изпичане намалява миграцията на йони.
Продължителна работа в плазмена халогенна вакуумна атмосфера.
Електростатичен патронник AlN
Чрез контролиране на състава и съотношението на бетонния материал може да се контролира обемното съпротивление и може да се получи капацитет за задържане в по-голям температурен интервал.
Равномерното разпределение на температурните зони се осигурява от технологията на синтероване и процеса на съвместно изпичане на бетоновата керамика.
Интегрирано формоване при съвместно изпичане за максимизиране на качеството на продукта.
Продължителна работа в плазмена халогенна вакуумна атмосфера.
Керамичен електростатичен патронник с нагревател
Може да реализира оформлението на множество температурни зони на нагряване и има добра равномерност на температурата на нагряване (±7,5%℃@350℃).
Технологията за синтероване при вакуумно ламиниране се използва за постигане на изключително високо уплътняване и температури на нагряване до 550 ℃.
Интегрирано формоване при съвместно изпичане за максимизиране на качеството на продукта.
Продължителна работа в плазмена халогенна вакуумна атмосфера.
Сложен тип електростатичен патронник/нагревател
Може да бъде съвместим със силиций, галиев арсенид, силициев карбид, сапфир за затягане на пластини, може да намали разходите за смяна на кабели на производителите на оборудване и крайните потребители. Въз основа на бетонна керамична технология и технология за модифициране на полимери, използването на интегрирано вакуумно ламиниране и технология за горещо свързване може да намали вътрешното термично съпротивление на електростатичния смукател, да постигне равномерност на вътрешната температура, да образува плътен диелектричен изолационен слой за подобряване на устойчивостта на миграция на йони.
Сложен тип електростатичен патронник
Използването на технология за модификация на бетонна керамика и полимер, има по-висока плътност на структурата и по-ниско отделяне на газ.
По-строг контрол на диелектричния слой и дебелината на електродната банка.
Разнообразието от затягащи обекти може да бъде съвместимо със затягането на различни пластини.
Съпротивлението на тялото може да се контролира точно, за да се получи по-силен електростатичен капацитет на задържане.
Висока производителност на разходите, кратък период на приемане, подходящ за разработване на продуктови процеси и проверка на разработването на ново оборудване.
Сложен тип електростатичен патронник с нагревател
Може да реализира оформлението на множество температурни зони на нагряване и има добра равномерност на температурата на нагряване (±3,5%℃@150℃).
Технологията на вакуумно ламиниране се използва за постигане на изключително висока плътност и температури на нагряване до 200°C.
Еднаква отоплителна крива, с по-широк диапазон от настройки на температурната крива.
Висока производителност на разходите, кратък период на приемане, подходящ за разработване на продуктови процеси и проверка на разработването на ново оборудване.