Микропорест керамичен вакуумен патронник
Характеристики на керамичния вакуумен патронник
Силна пропускливост: равномерна пропускливост на въздух и вода, за да се осигури еднаква сила и плътна адсорбция на силиконовата пластина в процеса на смилане без плъзгане.
Плътна и равномерна структура: Приемане на микропорест керамичен материал с плътна и равномерна структура, която не е лесна за адсорбиране на силициев прах, а патронникът е лесен за почистване.
Висока якост: без деформация по време на шлайфане, за да се гарантира, че силиконовата пластина е равномерно натоварена във всяка точка при шлайфане и не е лесно да се появят явленията на срутване на ръба, отломки.
Дълъг живот: запазването на формата на повърхността е добро, цикълът на превръзка е дълъг и количеството на превръзка е малко, така че има висок живот.
Лесно обличане: няма да има напукване, раздробяване, вършитба при обличане.
Лек: Поради вътрешната структура на порите, коефициентът на специфично тегло е 1,6-2,8.
Висока изолация: изолационен материал, премахва статичното електричество.
Контрол на точността
категория | Основен материал | Адсорбционен повърхностен материал | Размер | Плоскост | дълбочина на паралелизма |
Порест патронник | Алуминиева сплав | Порест SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
Неръждаема стомана | ≤10μm | ≤15μm | |||
Алуминий | ≤5μm | ≤8μm | |||
Силициев карбид | ≤3μm | ≤8μm | |||
Порестият керамичен патронник има пълна гама от спецификации и размери, които могат да се използват в 3-инчовата линия, 4-инчовата линия, 5-инчовата линия, 6-инчовата линия, 8-инчовата линия и 12-инчовата линия, и могат да бъдат персонализирани според спецификациите и размерите, от които се нуждаете. | |||||
Максималният размер на текущата кутия е: 1600 * 1600 м, дебелината е 50 мм; |
Характеристики на порест керамичен материал:
Основни съставки: алуминиев оксид Цвят: черен, желязно сив
Съдържание на алуминий: 92% Съдържание на влага: 0%
Апертура: 2~30um Порьозност: 35~40%
Якост на огъване: 6 kgf/cm2 (Mpa) Обемно съотношение: 2,28 g/cm3
Тип керамичен патронник
Според употребата керамичните патронници се разделят на:
Изтъняваща машина, оборудвана с: абразивен дисков патронник, силиконова пластина, сапфирена подложка и други изтънявания;
Машината за рязане е оборудвана с: патронник за писане, силиконова пластина, полупроводникова съставна пластина и друго рязане;
Машина за почистване оборудвана с: патронник за почистване;
Машината за отстраняване на филм е оборудвана с: патронник за отстраняване на филм;
Машина за ламиниране оборудвана с: патронник за ламиниране;
Печатаща машина оборудвана с: печатащ патронник.
Осигуряване на качеството
Fountyl има дългогодишен технически опит в инженерната керамична прецизност и свръхпрецизна обработка и производство, разнообразие от инструменти за физичен и химичен анализ и инструменти за геометрични измервания, за да гарантира стабилността на производството и консистенцията на продукта за керамичен патронник.
Приложение на продукта
Порест патронник (работна маса за адсорбция) е компонент, използван в етапа на производство на полупроводници и сглобен на машина за писане или устройство за проверка. Това е продукт, който може да използва порестата структура и отрицателното налягане на повърхността на работната маса, за да поддържа тънката силициева пластина плоска. Машината за писане нарязва силиконовата пластина с ширина около 20 μm, така че изискването за плоскост и успоредност на адсорбционната повърхност на пластината е много високо. Според техните съответни характеристики, различните структури на порите имат различни диапазони на приложение, като например микропореста керамика с голяма специфична повърхност и малък размер на порите, обикновено използвани при бактериална филтрация и полета за фиксиране на микроби; Мезопорестата керамика с нейното специфично разпределение на диаметъра често се използва в полетата за разделяне, адсорбционен катализ. Макропорестата керамика обикновено е подходяща за грубо филтриране на вещества с голямо съдържание и големи размери.