Dom
Proizvodi
Elektrostatička stezna glava s kompatibilnošću, visoke gustoće, visoke strukturne čvrstoće s prilagođenim
Karakteristike
Kompatibilnost | Prilagodba | High-density | Visoka strukturna čvrstoća | Brzo vrijeme isporuke | Isplativo
Prijave
Lon-implantacija | Thin Film | Etch | Razvoj procesa | Dizajn opreme
Dizajn i proizvodnja
12-inčni Fab isporučen da provjeri stvarne performanse, obezbijedi regeneraciju i popravku, te provjeri razvoj i dizajn.
Sa razvojem procesne opreme i procesne tehnologije poluvodiča i integriranog kola, tradicionalne elektrostatičke stezne glave koje koriste organske polimerne materijale, metalne okside i keramičke materijale kao dielektrike nisu u potpunosti kompatibilne s takvim materijalima kao što su silicijske pločice, safir i silicijum karbid. Stoga će se postepeno razvijati elektrostatičke stezne glave kompatibilne s prvom, drugom i trećom generacijom poluvodičkih hvataljki za pločice.
Polimerna elektrostatička stezna glava / grijač
Polimerni dielektrični materijal (Polimer) je trenutno najčešće korišteni elektrostatički materijal za steznu glavu, njegov proces pripreme je i najzreliji, polimerni dielektrični materijal nakon tretmana modifikacije polimera, električna, mehanička, temperaturna otpornost, svojstva otpornosti na halogene će biti znatno poboljšana. Dielektrični materijal je oblikovan drugim integriranim operacijama, a zatim slojevit višestepenim vakuumskim teškim opterećenjem, a gusti dielektrični izolacijski sloj se formira između unutrašnjih elektroda.
Polimerna elektrostatička stezna glava
Tehnologija modifikacije polimera koristi se za postizanje veće zapreminske otpornosti i relativne dielektrične konstante, te za postizanje stabilnije sile stezanja.
Dielektrični materijali visoke gustoće mogu smanjiti rizik od čestica i smanjiti pokretljivost jona.
Raznolikost predmeta za stezanje može biti kompatibilna sa stezanjem pločica od različitih materijala.
Odlična otpornost na koroziju u halogenim i plazma atmosferama.
Visoke performanse troškova, kratak period prijema, pogodan za razvoj procesa proizvoda i verifikaciju razvoja nove opreme.
Polimerna elektrostatička stezna glava sa grijačem
Može da realizuje raspored više temperaturnih zona grejanja (do 20 temperaturnih zona) i ima dobru ujednačenost temperature grejanja (±5%℃@150℃).
Tehnologija vakuumskog laminiranja koristi se za postizanje izuzetno visoke gustine i temperature zagrijavanja do 200°C.
Ujednačena krivulja grijanja, sa širim rasponom krivulje temperature Postavke.
Visoke performanse troškova, kratak period prijema, pogodan za razvoj procesa proizvoda i verifikaciju razvoja nove opreme.
Keramika Elektrostatička stezna glava / grijač
Tehnologija koagulacije keramike je poboljšani proces sinterovanja u razvoju keramičkih elektrostatičkih stezaljki i grijača od glinice/aluminij nitrida. Njegova jezgra je korištenje raznih nanometarskih keramičkih prahova, koji se miješaju u određenom omjeru kroz jedinstvenu opremu za miješanje i proces miješanja. Keramičke elektrostatičke stezne glave visoke gustoće, stabilne kristalne strukture i ravnomjerne raspodjele otpora sinterovane su uz određenu temperaturnu krivu sinteriranja u opremi za sinteriranje. Statička stezna glava proizvedena tehnologijom keramičke koagulacije ima visoku gustoću, stabilnu kristalnu strukturu i ujednačenu raspodjelu otpornosti volumena, te može ostvariti normalnu funkciju stezanja čipa u teškom okruženju pod visokim vakuumom, plazmom i halogenom.
Al₂O₃ Elektrostatička stezna glava
Volumenska otpornost je kontrolirana tehnologijom koagulacije keramike i procesom zajedničkog pečenja kako bi se postigla duža sila držanja.
Unutrašnja struktura visokotemperaturnog sinterovanja je gusta i kristalna struktura je stabilna, a može se dobiti kapacitet zadržavanja većeg temperaturnog intervala.
Integrirano kalupljenje sa zajedničkim pečenjem smanjuje migraciju jona.
Trajni rad u plazma halogenoj vakuum atmosferi.
AlN elektrostatička stezna glava
Kontrolom sastava i udjela betonskog materijala može se kontrolirati volumni otpor i postići kapacitet zadržavanja u većem temperaturnom intervalu.
Ujednačena distribucija temperaturnih zona osigurana je tehnologijom sinterovanja i procesom zajedničkog pečenja betonske keramike.
Integrirano kalupljenje za zajedničko pečenje radi maksimiziranja kvaliteta proizvoda.
Trajni rad u plazma halogenoj vakuum atmosferi.
Keramička elektrostatička stezna glava sa grijačem
Može da realizuje raspored više temperaturnih zona grejanja i ima dobru ujednačenost temperature grejanja (±7,5%℃@350℃).
Tehnologija sinterovanja pomoću vakuumskog laminiranja koristi se za postizanje izuzetno visoke gustoće i temperature zagrijavanja do 550℃.
Integrirano kalupljenje za zajedničko pečenje radi maksimiziranja kvaliteta proizvoda.
Trajni rad u plazma halogenoj vakuum atmosferi.
Kompleksni tip elektrostatičke stezne glave / grijač
Može biti kompatibilan sa silicijumom, galijum arsenidom, silicijum karbidom, safirom za stezanje pločice, može smanjiti troškove promene žice proizvođača opreme i krajnjih korisnika. Zasnovano na tehnologiji betonske keramike i tehnologije modifikacije polimera, upotreba integrirane vakuumske laminacije i tehnologije vrućeg vezivanja može smanjiti unutarnji toplinski otpor elektrostatičke sisaljke, postići ujednačenost unutarnje temperature, formirati gusti dielektrični izolacijski sloj kako bi se poboljšala otpornost na migraciju jona.
Elektrostatička stezna glava složenog tipa
Upotreba tehnologije betonske keramičke i polimerne modifikacije, ima veću gustu strukturu i manje oslobađanje gasa.
Stroža kontrola dielektričnog sloja i debljine grupe elektroda.
Raznolikost predmeta za stezanje može biti kompatibilna sa stezanjem različitih pločica.
Otpornost tijela može se precizno kontrolirati kako bi se dobio jači elektrostatički kapacitet zadržavanja.
Visoke performanse troškova, kratak period prijema, pogodan za razvoj procesa proizvoda i verifikaciju razvoja nove opreme.
Kompleksna elektrostatička stezna glava sa grijačem
Može da realizuje raspored više temperaturnih zona grejanja i ima dobru ujednačenost temperature grejanja (±3,5%℃@150℃).
Tehnologija vakuumskog laminiranja koristi se za postizanje izuzetno visoke gustine i temperature zagrijavanja do 200°C.
Ujednačena krivulja grijanja, sa širim rasponom krivulje temperature Postavke.
Visoke performanse troškova, kratak period prijema, pogodan za razvoj procesa proizvoda i verifikaciju razvoja nove opreme.