0102030405
Mikroporozna keramička vakuumska glava
Karakteristike keramičke vakuumske stezne glave
Jaka propusnost: ujednačena propusnost zraka i vodopropusnosti, kako bi se osigurala ujednačena sila i čvrsto upijanje silikonske pločice u procesu mljevenja bez klizanja.
Gusta i ujednačena struktura: Usvajanje mikroporoznog keramičkog materijala sa gustom i ujednačenom strukturom, koji nije lako adsorbirati silikonsku prašinu, a stezna glava se lako čisti.
Visoka čvrstoća: nema deformacija tokom brušenja, kako bi se osiguralo da je silikonska pločica ravnomjerno napregnuta u svakoj tački prilikom brušenja, a nije lako doći do pojave kolapsa rubova, krhotina.
Dug životni vek: zadržavanje oblika površine je dobro, ciklus previjanja je dug i količina previjanja je mala, tako da ima dug životni vek.
Lako oblačenje: neće biti pojave pucanja, fragmentacije, mlaćenja prilikom oblačenja.
Lagana: Zbog unutrašnje strukture pora, koeficijent specifične težine je 1,6-2,8.
Visoka izolacija: izolacijski materijal, eliminira statički elektricitet.
Kontrola tačnosti
kategorija | Osnovni materijal | Materijal adsorpcijske površine | Veličina | Ravnost | dubina paralelizma |
Porozna glava | Aluminijumska legura | Porozni SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
Nehrđajući čelik | ≤10μm | ≤15μm | |||
Alumina | ≤5μm | ≤8μm | |||
Silicon Carbide | ≤3μm | ≤8μm | |||
Porozna keramička stezna glava ima kompletan raspon specifikacija i veličina, koje se mogu koristiti u liniji od 3 inča, 4 inča, 5 inča, 6 inča, 8 inča i 12 inča, i može se prilagoditi prema specifikacijama i veličinama koje su vam potrebne. | |||||
Maksimalna veličina trenutnog kućišta je: 1600*1600m, debljina je 50mm; |
Karakteristike poroznog keramičkog materijala:
Glavni sastojci: glinica Boja: crna, željezo siva
Sadržaj glinice: 92% Sadržaj vlage: 0%
Otvor blende: 2~30um Poroznost: 35~40%
Čvrstoća na savijanje: 6 kgf/cm2 (Mpa) Zapreminski odnos: 2,28 g/cm3
Keramički tip stezne glave
Prema upotrebi, keramičke stezne glave dijele se na:
Mašina za stanjivanje opremljena: abrazivnim diskom, silikonskom podlogom, safirnom podlogom i drugim stanjivanjem;
Mašina za sečenje je opremljena sa: steznom glavom, silikonskom pločom, poluprovodnicom i drugim rezanjem;
Mašina za čišćenje opremljena sa: steznom glavom;
Mašina za skidanje folije je opremljena: steznom glavom za skidanje folije;
Mašina za laminiranje opremljena sa: steznom glavom za laminiranje;
Mašina za štampanje opremljena sa: steznom glavom.
Osiguranje kvaliteta
Fountyl ima dugogodišnje tehničko iskustvo u inženjeringu keramičke preciznosti i ultra-precizne obrade i proizvodnje, raznih instrumenata za fizičku i hemijsku analizu i geometrijskih mjernih instrumenata, kako bi se osigurala stabilnost proizvodnje i konzistentnost proizvoda za keramičke stezne glave.
Primjena proizvoda
Porozna stezna glava (adsorpcioni radni sto) je komponenta koja se koristi u fazi proizvodnje poluprovodnika i sklapa se na mašini za piskanje ili uređaju za inspekciju. To je proizvod koji može koristiti poroznu strukturu i negativni pritisak na površini radnog stola kako bi tanka silikonska pločica ostala ravna. Mašina za piskanje reže silicijumsku pločicu širine oko 20μm, tako da su zahtevi za ravnošću i paralelnošću površine adsorpcije pločice veoma visoki. U skladu sa svojim karakteristikama, različite strukture pora imaju različite opsege primene, kao što je mikroporozna keramika sa velikom specifičnom površinom i malom veličinom pora, koja se obično koristi u poljima bakterijske filtracije i fiksacije mikroba; Mezoporozna keramika sa svojom specifičnom raspodjelom promjera često se koristi u poljima separacije, adsorpcione katalize. Makroporozna keramika je obično pogodna za grubo filtriranje supstanci velikog sadržaja i velike veličine.