Dom
Glavni proizvod
Kvadratna greda i vodilica za ultra preciznu platformu za kretanje i opremu za detekciju
Uzimajući sklop vakuumske stezne glave kao primjer, materijal korišten u najranijoj eri vafla od 2 inča i 4 inča je zrakoplovni aluminij, ali je naišao na usko grlo ultra-visoke ravnosti (bolje od 1 mikrona) u eri velikih veličina oblatne (8 "i više od 8"), koje ne mogu ispuniti tvrdi indeks ultra-visoke ravnosti i eliminiraju se. Dalje, aluminijski materijal kao prijelaz, njegov modul elastičnosti, mala težina, toplinska provodljivost i koeficijent ekspanzije i silicijum karbid patuljak, ali ne na neki neugodan; Nakon proboja u tehnologiji pripreme velike i složene šuplje keramike od silicijum karbida posebnog oblika, poboljšane su komponente uključujući ultra preciznu bazu radnog komada, ultra preciznu zračnu vodilicu i polugu prijenosa pločice.
Ne samo gore spomenuti keramički dijelovi od silicij karbida koji zadovoljavaju ultra-visoke precizne tvrde pokazatelje o ravnosti, paralelnosti i vertikalnosti, već i za keramičke dijelove od silicijum karbida visoke čistoće potrebne za procese difuzije pločica, dopinga, jetkanja u industriji poluprovodnika , posebno u tehnologiji pripreme CVDSiC materijala visoke čistoće, ima zrelu tehnologiju procesa i realizirao je proizvodnju keramičkog kristalnog čamca visoke čistoće, keramičke ploče ležaja od silicijum karbida, plutajuće platforme za kretanje zraka od silicijum karbida, ultra silicijum karbida - precizna pokretna platforma, vodilica od silicijum karbida, komponente klizne šine od silicijum karbida.
U budućnosti ćemo dodatno proširiti primenu silicijum karbidnih materijala u industriji poluprovodnika i doprineti unapređenju lanca poluprovodničke industrije i industrije silicijum karbidne keramike. Kineske precizne keramičke komponente od silicijum karbida, nezavisno istraživanje i promocija domaće primene, upravo su započele, sa snažnim razvojem industrije poluprovodnika, potražnja na tržištu za ovom vrstom vrhunske keramičke strukture će biti sve veća, silicijum karbid sa svojim odličnim fizičkim i hemijskih svojstava, u industriji poluprovodnika ima široke izglede za primjenu.
Keramika od silicijum karbida ne samo da ima izvrsna mehanička svojstva na sobnoj temperaturi, kao što su visoka čvrstoća na savijanje, odlična otpornost na oksidaciju, dobra otpornost na koroziju, visoka otpornost na habanje i nizak koeficijent trenja, već i mehanička svojstva na visokim temperaturama (čvrstoća, otpornost na puzanje, itd.) su najpoznatiji keramički materijali. Silicijum karbid ima karakteristike otpornosti na koroziju, otpornosti na visoke temperature, visoke čvrstoće, dobre toplotne provodljivosti, otpornosti na udarce...itd.
Zahtjevi litografske mašine za strukturu stola radnog komada: ultra-lagana (smanjiti inerciju kretanja, smanjiti opterećenje motora), ultra-visoka stabilnost (ultra-precizna obrada zahtijeva visoko precizno kretanje i pozicioniranje, zahtijevajući minimalnu dimenzijsku deformaciju toplinskog širenja i druge faktore ), čistoća (visoka tvrdoća i visoka otpornost na habanje), može zadovoljiti tehničke zahtjeve velikih dimenzija, šupljih tankih zidova, složene strukture i preciznih strukturnih dijelova od silicijum karbida za ključnu opremu proizvodnje integriranih kola koju predstavlja fotolitografska mašina.
Fountyl Capabilities
Maksimalna veličina:1600mm.
Prilagodba strukture:lagana struktura, može biti dizajnirana za smanjenje težine strukture.
visoka preciznost:Ravnost se može kontrolisati unutar 5 mikrona ili čak sa većom preciznošću.