a casa
Productes
Mandril electrostàtic amb compatibilitat, alta densitat i resistència estructural alta amb personalització
Característiques
Compatibilitat | Personalització | Alta densitat | Alta resistència estructural | Termini de lliurament ràpid | Rentable
Aplicacions
Lon-implantació | Pel·lícula fina | Etch | Desenvolupament de processos | Disseny d'equips
Disseny i fabricació
Fab de 12 polzades lliurat per verificar el rendiment real, proporcionar regeneració i reparació i verificar el desenvolupament i el disseny.
Amb l'equip de procés i el desenvolupament de la tecnologia de procés de semiconductors i circuits integrats, els mandrils electrostàtics tradicionals que utilitzen materials de polímer orgànic, òxids metàl·lics i materials ceràmics com a dielèctrics no són totalment compatibles amb materials com les hòsties de silici, el safir i el carbur de silici. Per tant, es desenvoluparan gradualment els mandrils electrostàtics compatibles amb les pinces d'hòsties de semiconductors de primera, segona i tercera generació.
Mandril/escalfador electrostàtic de polímer
El material dielèctric de polímer (polímer) és actualment el material de mandril electrostàtic més utilitzat, el seu procés de preparació també és el material dielèctric de polímer més madur després del tractament de modificació del polímer, les propietats de resistència elèctrica, mecànica, a la temperatura i als halogens milloraran molt. El material dielèctric està modelat per altres operacions integrades, i després es fa capes per una càrrega pesada de buit multietapa, i es forma una capa d'aïllament dielèctric dens entre els elèctrodes interns.
Mandril electrostàtic de polímer
La tecnologia de modificació de polímers s'utilitza per aconseguir una major resistivitat a granel i una constant dielèctrica relativa i obtenir una força de subjecció més estable.
Els materials dielèctrics d'alta densitat poden reduir el risc de partícules i reduir la mobilitat dels ions.
La diversitat d'objectes de subjecció pot ser compatible amb la subjecció d'hòsties de diferents materials.
Excel·lent resistència a la corrosió en atmosferes d'halògens i plasma.
Rendiment d'alt cost, període d'acceptació curt, adequat per al desenvolupament de processos de producte i verificació de desenvolupament de nous equips.
Mandril electrostàtic de polímer amb escalfador
Pot realitzar la disposició de múltiples zones de temperatura de calefacció (fins a 20 zones de temperatura) i té una bona uniformitat de temperatura de calefacció (± 5% ℃ @ 150 ℃).
La tecnologia de laminació al buit s'utilitza per aconseguir una densitat extremadament alta i temperatures d'escalfament de fins a 200 ° C.
Corba de calefacció uniforme, amb una gamma més àmplia de paràmetres de corba de temperatura.
Rendiment d'alt cost, període d'acceptació curt, adequat per al desenvolupament de processos de producte i verificació de desenvolupament de nous equips.
Mandril / Escalfador electrostàtic de ceràmica
La tecnologia de coagulació ceràmica és un procés de sinterització millorat en el desenvolupament de mandrils i escalfadors electrostàtics ceràmics d'alúmina/nitrur d'alumini. El seu nucli és utilitzar una varietat de pols ceràmiques de diàmetre nanomètric, que es barregen en una determinada proporció mitjançant un equip de mescla i un procés de barreja únics. Els mandrils electrostàtics de ceràmica amb alta densitat, estructura de cristall estable i distribució uniforme de la resistivitat es van sinteritzar amb una determinada corba de temperatura de sinterització en equips de sinterització. El mandril estàtic fabricat per la tecnologia de coagulació ceràmica té una estructura de cristall estable i d'alta densitat i una distribució uniforme de la resistivitat del volum, i pot realitzar la funció de subjecció normal del xip en un entorn dur sota buit elevat, plasma i halògens.
Mandril electrostàtic Al₂O₃
La resistivitat del volum es controla mitjançant la tecnologia ceràmica de coagulació i el procés de cocció per obtenir una força de retenció més llarga.
L'estructura interna de la sinterització d'alta temperatura és densa i l'estructura de cristall és estable, i es pot obtenir la capacitat de retenció d'un interval de temperatura més gran.
L'emmotllament integrat de co-cocció redueix la migració d'ions.
Funcionament durador en atmosfera de buit amb halògens de plasma.
Mandril electrostàtic AlN
Controlant la composició i la proporció del material de formigó, es pot controlar la resistivitat del volum i es pot obtenir la capacitat de retenció en un interval de temperatura més gran.
La distribució uniforme de la zona de temperatura està assegurada per la tecnologia de sinterització i el procés de cocció de ceràmica de formigó.
Emmotllament de cocció integrat per maximitzar la qualitat del producte.
Funcionament durador en atmosfera de buit amb halògens de plasma.
Mandril electrostàtic de ceràmica amb escalfador
Pot realitzar la disposició de múltiples zones de temperatura de calefacció i té una bona uniformitat de temperatura de calefacció (± 7,5% ℃ @ 350 ℃).
La tecnologia de sinterització de laminació al buit s'utilitza per aconseguir temperatures de densificació i escalfament extremadament altes fins a 550 ℃.
Emmotllament de cocció integrat per maximitzar la qualitat del producte.
Funcionament durador en atmosfera de buit amb halògens de plasma.
Mandril/escalfador electrostàtic de tipus complex
Pot ser compatible amb silici, arsenur de gal·li, carbur de silici, safir de subjecció d'hòsties, pot reduir els costos de canvi de cable dels fabricants d'equips i usuaris finals. Basat en la tecnologia de ceràmica de formigó i la tecnologia de modificació de polímers, l'ús de la laminació al buit integrada i la tecnologia d'unió en calent pot reduir la resistència tèrmica interna de la ventosa electrostàtica, aconseguir la uniformitat de la temperatura interna, formar una capa d'aïllament dielèctric densa per millorar el rendiment de resistència a la migració d'ions.
Mandril electrostàtic de tipus complex
L'ús de la tecnologia de modificació de ceràmica i polímer de formigó té una estructura més densa i una menor emissió de gas.
Control més estricte de la capa dielèctrica i el gruix del banc d'elèctrodes.
La diversitat d'objectes de subjecció pot ser compatible amb la subjecció de diferents hòsties.
La resistivitat del cos es pot controlar amb precisió per obtenir una capacitat de retenció electrostàtica més forta.
Rendiment d'alt cost, període d'acceptació curt, adequat per al desenvolupament de processos de producte i verificació de desenvolupament de nous equips.
Mandril electrostàtic de tipus complex amb escalfador
Pot realitzar la disposició de múltiples zones de temperatura de calefacció i té una bona uniformitat de temperatura de calefacció (± 3,5% ℃ @ 150 ℃).
La tecnologia de laminació al buit s'utilitza per aconseguir una densitat extremadament alta i temperatures d'escalfament de fins a 200 ° C.
Corba de calefacció uniforme, amb una gamma més àmplia de paràmetres de corba de temperatura.
Rendiment d'alt cost, període d'acceptació curt, adequat per al desenvolupament de processos de producte i verificació de desenvolupament de nous equips.