a casa
Producte principal
Feix quadrat i rail guia per a plataforma de moviment d'ultra precisió i equips de detecció
Prenent com a exemple el conjunt de mandril de buit, el material utilitzat a l'era de les hòsties de 2 polzades i 4 polzades més antiga és l'alumini d'aviació, però s'ha trobat amb el coll d'ampolla d'una planitud ultra alta (millor d'1 micra) a l'era de les grans dimensions. hòsties (8 "i més de 8"), que no poden complir amb l'índex dur de planitud ultra alta i s'eliminen. A continuació, el material d'alúmina com a transició, el seu mòdul elàstic, pes lleuger, conductivitat tèrmica i coeficient d'expansió i nan de carbur de silici, però no en certa vergonya; Després de l'avenç en la tecnologia de preparació de ceràmica de carbur de silici d'estructura buida de gran mida i complexa forma especial, s'han millorat components que inclouen la base de la peça de treball d'ultra precisió, la guia de flotador d'aire d'ultra precisió i el braç de transmissió d'hòsties.
No només les peces ceràmiques de carbur de silici esmentades anteriorment que compleixen els indicadors durs d'ultra alta precisió sobre planitud, paral·lelisme i verticalitat, per a les peces ceràmiques de carbur de silici d'alta puresa necessàries per als processos de difusió, dopatge i gravat d'hòsties a la indústria dels semiconductors. , especialment en la tecnologia de preparació de material CVDSiC d'alta puresa, té una tecnologia de procés madura i s'ha adonat de la fabricació de vaixells de cristall ceràmic de carbur de silici d'alta puresa, placa de coixinet de ceràmica de carbur de silici, plataforma de moviment d'aire flotant de ceràmica de carbur de silici, carbur de silici ultra - Plataforma de moviment de precisió, rail de guia de carbur de silici, components de carril de carbur de silici.
En el futur, ampliarem encara més l'aplicació de materials de carbur de silici a la indústria dels semiconductors i contribuirem a l'actualització de la cadena de la indústria dels semiconductors i la indústria ceràmica de carbur de silici. Acaba de començar la investigació independent de components ceràmics de carbur de silici de precisió de la Xina i la promoció d'aplicacions domèstiques, amb el vigorós desenvolupament de la indústria dels semiconductors, la demanda del mercat d'aquest tipus d'estructura ceràmica de gamma alta serà cada cop més gran, el carbur de silici amb el seu excel·lent físic i propietats químiques, a la indústria dels semiconductors té àmplies perspectives d'aplicació.
Les ceràmiques de carbur de silici no només tenen excel·lents propietats mecàniques a temperatura ambient, com ara una alta resistència a la flexió, una excel·lent resistència a l'oxidació, una bona resistència a la corrosió, una alta resistència al desgast i un baix coeficient de fricció, sinó també propietats mecàniques a alta temperatura (resistència, resistència a la fluència, etc.) són els materials ceràmics més coneguts. El carbur de silici té les característiques de resistència a la corrosió, resistència a alta temperatura, alta resistència, bona conductivitat tèrmica, resistència a l'impacte... etc.
Els requisits de la màquina de litografia per a l'estructura de la taula de peces de treball: ultralleuger (redueix la inèrcia del moviment, redueix la càrrega del motor), estabilitat ultra alta (el mecanitzat d'ultra precisió requereix moviment i posicionament d'alta precisió, que requereix una deformació dimensional mínima de l'expansió tèrmica i altres factors). ), neteja (alta duresa i alta resistència al desgast), pot complir els requisits tècnics de gran mida, paret fina buida, estructura complexa i peces estructurals de carbur de silici de precisió per a l'equip clau de la fabricació de circuits integrats representat per la màquina fotolitografia.
Capacitats de Fountyl
Mida màxima:1600 mm.
Personalització de l'estructura:estructura lleugera, es pot dissenyar per reduir l'estructura de pes.
Alta precisió:La planitud es pot controlar amb una precisió de 5 micres o fins i tot més alta.