0102030405
Wafer pin chuck nga gigamit para sa semiconductor exposure device ug wafer inspection device
Mga bahin
Taas nga temperatura nga pagsukol:Ang silicone carbide ug alumina ceramic nga mga materyales adunay maayo kaayo nga pasundayag sa taas nga temperatura, mahimong magamit sa taas nga temperatura nga palibot sa dugay nga panahon, dili dali nga deformation o bali.
Pagbatok sa kaagnasan:makasugakod sa nagkalain-laing kemikal nga corrosion, nga angay alang sa pagdumala sa mga corrosive nga likido o gas sa nagtrabaho nga palibot.
Pagsul-ob sa resistensya:taas nga katig-a, nga adunay maayo nga pagsukol sa pagsul-ob, mahimong magamit sa dugay nga panahon nga wala’y kapakyasan.
Kusog nga adsorption:ang convex point structure nagpamenos sa contact area sa suction cup, sa ingon nagdugang sa adsorption force kada unit area, ug mahimong mas lig-on nga adsorb sa workpiece.
Taas nga kalig-on:Tungod sa mga kinaiya sa materyal, ang wafer pin chuck adunay taas nga kalig-on ug mahimong molihok nga lig-on sa dugay nga panahon.
Bawasan ang polusyon:Ang mga ceramic wafer chuck nag-uswag gikan sa mga grooves hangtod sa mga pin aron makunhuran ang lugar sa kontak, makunhuran ang pipila nga polusyon ug mapaayo ang pagtul-id sa warping.
Pagkontrol sa Proseso
Taas nga katukma: 12 ka pulgada ang diyametro, ang flatness kontrolado sulod sa 5 μm; Kung kinahanglan nimo ang dugang nga katukma, palihug email kanamo.
Pagkontrol sa porma: I-adjust ang porma sa chuck sumala sa porma sa wafer (kontrol sa non-uniformity).
Absorptive nga pagtubag: Nahiangay nga disenyo sumala sa mga detalye.
Atong mga Serbisyo
Ang pagpili sa wafer pin chuck kinahanglan nga tagdon sumala sa daghang mga hinungdan sama sa gikinahanglan nga diametro sa suction cups, ang gidaghanon sa mga convex point, ug ang porma sa chuck, ug paghimo sa usa ka angay nga pagpili sumala sa gidak-on, gibug-aton sa adsorption butang ug ang mga kinahanglanon sa palibot sa pagtrabaho.
Gisagop namo ang tukma nga flat machining nga teknolohiya, nagpatuman sa mamugnaong disenyo alang sa custom, ug naghatag sa pinakamaayo nga wafer pin chuck aron matubag ang higpit nga mga kinahanglanon sa mga kustomer.
Ang patag nga porma sa pin chuck mahimong libre nga ipasibo sumala sa porma sa wafer, ug ang adsorption area o pin pattern mahimong ipasibo aron mapalambo ang adsorption responsiveness.
Materyal: Ang aluminum oxide ceramic o silicon carbide mahimong mapili, ug ang DLC ug Teflon mahimong ibutang sa ibabaw.
Ang high-precision nga SiC/SSiC nga wafer pin chucks kay gihimo para sa wafer exposure, inspeksyon, mga proseso sa transportasyon nga flexible kaayo, flat kaayo, ug hilabihan ka makasugakod sa harsh working environment.
Data sa Pagsulay sa Katukma
![sdw (2) wzk](https://ecdn6.globalso.com/upload/p/277/image_other/2024-01/6597c7d26042625053.jpg)
![sdw (3) pwr](https://ecdn6.globalso.com/upload/p/277/image_other/2024-01/6597c7c404fe578289.jpg)
![0af19965-9b3b-4d8d-b343-2a7da016f7d7(1)84c](https://ecdn6.globalso.com/upload/p/277/image_other/2024-01/6597d73dc695f48825.jpg)
Aplikasyon
Wafer fixation sa semiconductor exposure device; Wafer fixation sa wafer inspeksyon device.