A casa
I prudutti
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Mandrinu elettrostaticu cù cumpatibilità, alta densità, alta forza strutturale cun persunalizazione
Features
Cumpatibilità | persunalizazione | Alta densità | Alta resistenza strutturale | Tempu di consegna veloce | Cost-efficace
Applicazioni
Lon-implantazione | Film sottile | Etch | Sviluppu di prucessu | Disegnu di l'equipaggiu
Disegnu è Fabricazione
12 inch Fab consegnatu per verificà a prestazione attuale, furnisce rigenerazione è riparazione, è verificate u sviluppu è u disignu.
Cù l'equipaggiu di prucessu è u sviluppu di tecnulugia di prucessu di semiconductor è circuit integratu, i mandrini elettrostatici tradiziunali chì utilizanu materiali polimeri organici, ossidi metallichi è materiali ceramichi cum'è dielettrici ùn sò micca cumplettamente cumpatibili cù materiali cum'è wafers di siliciu, zaffiro è carburu di siliciu. Dunque, i mandrini elettrostatici cumpatibili cù a prima, a seconda è a terza generazione di pinze di wafer semiconductor si sviluppanu gradualmente.
Mandrinu / Riscaldatore elettrostaticu di polimeru
Materiale dielettricu polimeru (Polimer) hè attualmente u materiale chuck elettrostaticu più utilizatu, u so prucessu di preparazione hè ancu u più maturu, materiale dielettricu polimeru dopu à trattamentu di mudificazione polimeru, resistenza à a temperatura, resistenza à a temperatura, resistenza à l'alogenu sarà assai megliu. U materiale dielettricu hè modelatu da altre operazioni integrate, è poi stratificatu da una carica pesante di vacuum multistage, è una densa capa d'insulazione dielettrica hè formata trà l'elettrodi interni.
Mandrinu elettrostaticu polimeru
A tecnulugia di mudificazione di polimeru hè aduprata per ottene una resistività di massa più alta è una constante dielettrica relativa, è ottene una forza di serratura più stabile.
I materiali dielettrici d'alta densità ponu riduce u risicu di particulate è riduce a mobilità di ioni.
A diversità di l'uggetti di clamping pò esse cumpatibili cù u clamping di wafers di diversi materiali.
Eccellente resistenza à a corrosione in atmosfere alogeni è plasma.
Prestazione elevata di costu, cortu periodu di accettazione, adattatu per u sviluppu di u prucessu di produttu è a verificazione di u sviluppu di l'equipaggiu novu.
Mandrinu elettrostaticu in polimeru cù riscaldatore
Pò rializà a disposizione di parechje zoni di temperatura di riscaldamentu (finu à 20 zone di temperatura), è hà una bona uniformità di temperatura di riscaldamentu (± 5% ℃ @ 150 ℃).
A tecnulugia di laminazione in vacuum hè aduprata per ottene una densità estremamente alta è temperature di riscaldamentu finu à 200 ° C.
Curva di riscaldamentu uniforme, cù una gamma più larga di paràmetri di curva di temperatura.
Prestazione elevata di costu, cortu periodu di accettazione, adattatu per u sviluppu di u prucessu di produttu è a verificazione di u sviluppu di l'equipaggiu novu.
Mandrinu / Riscaldatore Elettrostaticu in Ceramica
A tecnulugia di a coagulazione ceramica hè un prucessu di sinterizazione migliuratu in u sviluppu di mandrini è riscaldatori elettrostatici di ceramica d'alumina / nitruru d'aluminiu. U so core hè di utilizà una varietà di polveri di ceramica di diametru nanometru, chì sò mischiati in una certa proporzione per mezu di un equipamentu di mischju unicu è prucessu di mischju. I mandrini elettrostatici di ceramica cù alta densità, struttura cristallina stabile è distribuzione uniforme di resistività sò stati sinterizzati cù una certa curva di temperatura di sinterizzazione in l'equipaggiu di sinterizzazione. U mandrinu staticu fabbricatu da a tecnulugia di coagulazione ceramica hà una densità alta, una struttura cristallina stabile è una distribuzione uniforme di resistività di u voluminu, è pò realizà a funzione normale di serratura di u chip in l'ambiente duru sottu vacuum, plasma è alogeni.
Mandrinu elettrostaticu Al₂O₃
A resistività di u voluminu hè cuntrullata da a tecnulugia di ceramica di coagulazione è u prucessu di co-firing per ottene una forza di mantene più longa.
A struttura interna di a sinterizzazione d'alta temperatura hè densa è a struttura di cristalli hè stabile, è a capacità di mantene un intervalu di temperatura più grande pò esse ottenuta.
U modellu integratu di co-firing riduce a migrazione di ioni.
Funzionamentu durabile in l'atmosfera di vacu di alogeni di plasma.
Mandrinu elettrostaticu AlN
Per cuntrullà a cumpusizioni è a proporzione di u materiale di cimentu, a resistività di u voluminu pò esse cuntrullata è a capacità di mantene in un intervallu di temperatura più grande pò esse acquistatu.
A distribuzione uniforme di a zona di temperatura hè assicurata da a tecnulugia di sinterizzazione è u prucessu di co-cottura di ceramica di cimentu.
Molding integratu di co-firing per maximizà a qualità di u produttu.
Funzionamentu durabile in l'atmosfera di vacu di alogeni di plasma.
Mandrinu Elettrostaticu di Ceramica cù Riscaldatore
Pò rializà a disposizione di parechje zone di temperatura di riscaldamentu, è hà una bona uniformità di temperatura di riscaldamentu (± 7,5% ℃ @ 350 ℃).
A tecnulugia di sinterizzazione di laminazione in vacuum hè aduprata per ottene una densificazione estremamente alta è temperature di riscaldamentu finu à 550 ℃.
Molding integratu di co-firing per maximizà a qualità di u produttu.
Funzionamentu durabile in l'atmosfera di vacu di alogeni di plasma.
Mandrinu / Riscaldatore elettrostaticu di tipu cumplessu
Pò esse cumpatibile cù u silicuu, l'arsenidu di galiu, u carburu di siliciu, u zaffiro di clamping wafer, pò riduce i costi di cambiamentu di filu di i fabricatori di l'equipaggiu è l'utilizatori finali. Basatu nantu à a tecnulugia di ceramica di cimentu è a tecnulugia di mudificazione di polimeri, l'usu di a laminazione in vacuum integrata è a tecnulugia di ligame caldu ponu riduce a resistenza termica interna di l'aspiratore elettrostaticu, ottene l'uniformità di a temperatura interna, formate un densu stratu d'insulazione dielettrica per migliurà a prestazione di resistenza à a migrazione di ioni.
Mandrinu elettrostaticu di tipu cumplessu
L'usu di a tecnulugia di mudificazione in ceramica di cimentu è polimeru, hà una struttura più densa è una liberazione di gas più bassa.
Un cuntrollu più strettu di a strata dielettrica è di u grossu di u bancu di l'elettrodi.
A diversità di l'uggetti di clamping pò esse cumpatibili cù u clamping di diverse wafers.
A resistività di u corpu pò esse cuntrullata accuratamente per ottene una capacità di mantene elettrostatica più forte.
Prestazione elevata di costu, cortu periodu di accettazione, adattatu per u sviluppu di u prucessu di produttu è a verificazione di u sviluppu di l'equipaggiu novu.
Mandrinu elettrostaticu di tipu cumplessu cù riscaldatore
Pò esse realizatu u layout di parechje zone di temperatura di riscaldamentu, è hà una bona uniformità di temperatura di riscaldamentu (± 3,5% ℃ @ 150 ℃).
A tecnulugia di laminazione in vacuum hè aduprata per ottene una densità estremamente alta è temperature di riscaldamentu finu à 200 ° C.
Curva di riscaldamentu uniforme, cù una gamma più larga di paràmetri di curva di temperatura.
Prestazione elevata di costu, cortu periodu di accettazione, adattatu per u sviluppu di u prucessu di produttu è a verificazione di u sviluppu di l'equipaggiu novu.