A casa
Pruduttu principali
Fascio quadratu è guida di guida per a piattaforma di muvimentu ultra-precisione è l'equipaggiu di rilevazione
Pigliendu l'assemblea di mandrini di vacuum cum'è un esempiu, u materiale utilizatu in a prima era di wafer di 2 inch è 4 inch hè l'aluminiu di l'aviazione, ma hà scontru u collu di buttiglia di flatness ultra-alta (megliu di 1 micron) in l'era di grande dimensione. wafers (8 "è più di 8"), chì ùn ponu micca scuntrà l'indice duru di flatness ultra-high è hè eliminatu. In seguitu, materiale alumina cum'è una transizione, u so modulu elasticu, pisu ligere, conductivity termale è coefficient di espansione è nanu carbure di siliciu, ma micca nantu à qualchi embarrassing; Dopu à l'avanzata in a tecnulugia di preparazione di ceramica di carburu di siliciu di struttura cava di grande dimensione è cumplessa, cumpunenti cumpresi basa di pezzi ultra-precisione, guida di float d'aria ultra-precisione, è bracciu di trasmissione di wafer sò stati aghjurnati.
Micca solu i pezzi di ceramica di carburu di siliciu sopra citati chì rispondenu à l'indicatori duri di ultra-alta precisione nantu à a planarità, parallelismu è verticalità, per e parti ceramiche di carburu di siliciu di alta purezza necessarii per i prucessi di diffusione di wafer, doping, incisione in l'industria di semiconduttori. , in particulare in a tecnulugia di preparazione di materiale CVDSiC d'alta purezza, hà una tecnulugia di prucessu maturu, è hà realizatu a fabricazione di barca di cristallo di ceramica di carburu di siliciu di alta purezza, piastra di cuscinetti di ceramica di carburu di siliciu, piattaforma di movimentu flottante d'aria in ceramica di carburu di siliciu, ultra di carburu di siliciu. -Piattaforma di movimentu di precisione, rail di guida di carburu di siliciu, cumpunenti di rail di scorri di carburu di siliciu.
In u futuru, espansione ancu più l'applicazione di materiali di carburu di siliciu in l'industria di i semiconduttori è cuntribuiscenu à l'aghjurnamentu di a catena di l'industria di i semiconduttori è l'industria di a ceramica di carburu di siliciu. Cumpunenti ceramichi di carburu di siliciu di precisione in Cina, a ricerca indipendente è a prumuzione di l'applicazioni domestiche sò appena cuminciati, cù u sviluppu vigoroso di l'industria di i semiconduttori, a dumanda di u mercatu per stu tipu di struttura ceramica high-end serà sempre più grande, carburu di siliciu cù u so eccellente fisicu è proprietà chimichi, in l 'industria semiconductor hà larga prospettiva applicazione.
A ceramica di carburu di siliciu ùn hè micca solu proprietà meccaniche eccellenti à a temperatura di l'ambienti, cum'è una alta forza di curvatura, una resistenza à l'ossidazione eccellente, una bona resistenza à a corrosione, una alta resistenza à l'usura è un bassu coefficient d'attrito, ma ancu proprietà meccaniche à alta temperatura (forza, resistenza à u creep, etc.) sò i materiali ceramichi più cunnisciuti. U carburu di siliciu hà e caratteristiche di resistenza à a corrosione, resistenza à alta temperatura, alta forza, bona conduttività termale, resistenza à l'impattu ... etc.
I requisiti di a macchina di litografia per a struttura di a tavola di u travagliu: Ultra-leggeru (riduce l'inerzia di u muvimentu, riduce a carica di u mutore), stabilità ultra-alta (a machinazione ultra-precisione richiede movimentu è posizionamentu d'alta precisione, chì richiede una deformazione dimensionale minima di espansione termica è altri fattori). ), pulizia (alta durezza è alta resistenza à l'usura), pò risponde à i requisiti tecnichi di grande dimensione, muru sottile cavu, struttura cumplessa è parti strutturali di carburu di siliciu di precisione per l'equipaggiu chjave di a fabricazione di circuiti integrati rapprisentatu da a macchina di fotolitografia.
Capacità di Fountyl
Dimensione massima:1600 mm.
persunalizazione di a struttura:struttura ligera, pò esse designatu per riduce a struttura di pesu.
Alta precisione:A piattezza pò esse cuntrullata in 5 microns o ancu una precisione più alta.