Domov
produkty
Elektrostatické sklíčidlo s kompatibilitou, vysokou hustotou, vysokou strukturální pevností s přizpůsobením
Funkce
Kompatibilita | Přizpůsobení | Vysoká hustota | Vysoká strukturální pevnost | Rychlá dodací lhůta | Nákladově efektivní
Aplikace
Lon-implantace | Tenký film | Leptat | Vývoj procesu | Design zařízení
Design a výroba
12palcový Fab dodán za účelem ověření skutečného výkonu, zajištění regenerace a opravy a ověření vývoje a designu.
S procesním vybavením a vývojem procesní technologie polovodičů a integrovaných obvodů nejsou tradiční elektrostatická upínače využívající organické polymerní materiály, oxidy kovů a keramické materiály jako dielektrika plně kompatibilní s takovými materiály, jako jsou křemíkové destičky, safír a karbid křemíku. Proto se postupně vyvinou elektrostatická upínače kompatibilní s první, druhou a třetí generací uchopovačů polovodičových destiček.
Polymerové elektrostatické sklíčidlo / ohřívač
Polymerní dielektrický materiál (Polymer) je v současné době nejrozšířenějším elektrostatickým sklíčidlem, proces jeho přípravy je také nejvyzrálejším, polymerní dielektrický materiál po úpravě modifikací polymeru, elektrické, mechanické, teplotní odolnosti, vlastnosti odolnosti vůči halogenům se výrazně zlepší. Dielektrický materiál je vzorován dalšími integrovanými operacemi a poté vrstven vícestupňovým vakuovým těžkým zatížením a mezi vnitřními elektrodami je vytvořena hustá dielektrická izolační vrstva.
Polymerové elektrostatické sklíčidlo
Technologie modifikace polymeru se používá k dosažení vyššího objemového odporu a relativní dielektrické konstanty a získání stabilnější upínací síly.
Dielektrické materiály s vysokou hustotou mohou snížit riziko pevných částic a snížit pohyblivost iontů.
Rozmanitost upínacích předmětů může být kompatibilní s upínáním destiček z různých materiálů.
Vynikající odolnost proti korozi v halogenové a plazmové atmosféře.
Vysoký nákladový výkon, krátká doba přijetí, vhodný pro vývoj procesu produktu a ověřování vývoje nového zařízení.
Polymerové elektrostatické sklíčidlo s ohřívačem
Může realizovat rozložení více teplotních zón ohřevu (až 20 teplotních zón) a má dobrou rovnoměrnost teploty ohřevu (±5%℃@150℃).
Technologie vakuového laminování se používá k dosažení extrémně vysoké hustoty a teplot ohřevu až do 200 °C.
Jednotná topná křivka s širším rozsahem teplotní křivky Nastavení.
Vysoký nákladový výkon, krátká doba přijetí, vhodný pro vývoj procesu produktu a ověřování vývoje nového zařízení.
Keramické elektrostatické sklíčidlo / ohřívač
Technologie keramické koagulace je vylepšený proces slinování při vývoji keramických elektrostatických upínačů a ohřívačů z oxidu hlinitého/nitridu hliníku. Jeho jádrem je použití různých keramických prášků o průměru nanometrů, které se v určitém poměru mísí pomocí unikátního míchacího zařízení a procesu míchání. Keramická elektrostatická upínače s vysokou hustotou, stabilní krystalovou strukturou a rovnoměrným rozložením měrného odporu byla spékána s určitou křivkou slinovací teploty ve slinovacím zařízení. Statické sklíčidlo vyrobené technologií keramické koagulace má vysokou hustotu, stabilní krystalovou strukturu a rovnoměrné rozložení odporu objemu a může realizovat normální upínací funkci čipu v drsném prostředí pod vysokým vakuem, plazmou a halogenem.
Elektrostatické sklíčidlo Al₂O₃
Objemový odpor je řízen technologií koagulační keramiky a procesem společného vypalování, aby se získala delší přídržná síla.
Vnitřní struktura vysokoteplotního slinování je hustá a krystalická struktura je stabilní a lze získat udržovací kapacitu většího teplotního intervalu.
Integrované společné vypalování omezuje migraci iontů.
Trvalý provoz v plazmové halogenové vakuové atmosféře.
Elektrostatické sklíčidlo AlN
Řízením složení a podílu betonového materiálu lze řídit objemový odpor a získat výdrž ve větším teplotním intervalu.
Rovnoměrné rozložení teplotních zón je zajištěno technologií slinování a procesem spoluvypalování betonové keramiky.
Integrované společné vypalování pro maximalizaci kvality produktu.
Trvalý provoz v plazmové halogenové vakuové atmosféře.
Keramické elektrostatické sklíčidlo s ohřívačem
Může realizovat uspořádání více teplotních zón ohřevu a má dobrou rovnoměrnost teploty ohřevu (±7,5%℃@350℃).
Technologie vakuového laminování se používá k dosažení extrémně vysokých teplot zhuštění a ohřevu až do 550 ℃.
Integrované společné vypalování pro maximalizaci kvality produktu.
Trvalý provoz v plazmové halogenové vakuové atmosféře.
Komplexní typ elektrostatického sklíčidla / ohřívače
Může být kompatibilní s křemíkem, arsenidem gallia, karbidem křemíku, safírem nebo upínáním plátků, může snížit náklady výrobců zařízení a koncových uživatelů na výměnu drátu. Na základě technologie betonové keramiky a technologie modifikace polymerů může použití integrované vakuové laminace a technologie horkého spojování snížit vnitřní tepelný odpor elektrostatické přísavky, dosáhnout rovnoměrnosti vnitřní teploty, vytvořit hustou dielektrickou izolační vrstvu pro zlepšení odolnosti vůči migraci iontů.
Komplexní typ elektrostatického sklíčidla
Použití betonové keramiky a technologie modifikace polymerů má vyšší hustotu strukturu a nižší uvolňování plynu.
Přísnější kontrola dielektrické vrstvy a tloušťky elektrodového bloku.
Rozmanitost upínacích předmětů může být kompatibilní s upínáním různých destiček.
Odpor tělesa lze přesně ovládat, aby se získala silnější elektrostatická přídržná kapacita.
Vysoký nákladový výkon, krátká doba přijetí, vhodný pro vývoj procesu produktu a ověřování vývoje nového zařízení.
Komplexní typ elektrostatického sklíčidla s ohřívačem
Může realizovat rozložení více teplotních zón ohřevu a má dobrou rovnoměrnost teploty ohřevu (±3,5%℃@150℃).
Technologie vakuového laminování se používá k dosažení extrémně vysoké hustoty a teplot ohřevu až do 200 °C.
Jednotná topná křivka s širším rozsahem teplotní křivky Nastavení.
Vysoký nákladový výkon, krátká doba přijetí, vhodný pro vývoj procesu produktu a ověřování vývoje nového zařízení.