Čtvercový nosník a vodicí kolejnice pro ultra přesnou pohybovou plošinu a detekční zařízení

Vezmeme-li jako příklad sestavu vakuového sklíčidla, materiál používaný v první éře 2palcových a 4palcových plátků je letecký hliník, ale v éře velkých rozměrů narazil na překážku ultra vysoké plochosti (lepší než 1 mikron). oplatky (8" a více než 8"), které nemohou splnit tvrdý index ultra vysoké plochosti a jsou eliminovány. Dále oxid hlinitý jako přechodový materiál, jeho modul pružnosti, nízká hmotnost, tepelná vodivost a koeficient roztažnosti a karbid křemíku trpasličí, ale ne na nějaké trapné; Po průlomu v technologii přípravy velkorozměrových a složitých speciálních tvarovaných dutých struktur keramiky z karbidu křemíku byly modernizovány komponenty včetně ultra přesné základny obrobku, ultrapřesného vzduchového plovákového vedení a ramena převodovky.

Nejen výše uvedené keramické díly z karbidu křemíku, které splňují ultra vysoce přesné tvrdé indikátory rovinnosti, rovnoběžnosti a svislosti, pro vysoce čisté keramické díly z karbidu křemíku potřebné pro procesy difúze, dopování a leptání plátků v polovodičovém průmyslu. , zejména v technologii přípravy vysoce čistého materiálu CVDSiC, má vyspělou procesní technologii a realizovala výrobu vysoce čisté keramické křišťálové lodi z karbidu křemíku, keramické ložiskové desky z karbidu křemíku, keramické vzduchové plovoucí pohybové platformy z karbidu křemíku, ultra karbidu křemíku -přesná pohyblivá plošina, vodicí kolejnice z karbidu křemíku, součásti kluzných kolejnic z karbidu křemíku.

V budoucnu budeme dále rozšiřovat použití materiálů z karbidu křemíku v polovodičovém průmyslu a přispějeme k modernizaci řetězce průmyslu polovodičů a průmyslu keramiky karbidu křemíku. Čínský přesný nezávislý výzkum keramických komponent z karbidu křemíku a propagace domácích aplikací právě začaly, s energickým rozvojem polovodičového průmyslu bude poptávka na trhu po tomto druhu špičkové keramické struktury stále větší, karbid křemíku s vynikajícími fyzikálními a chemické vlastnosti má v polovodičovém průmyslu široké uplatnění.