Σπίτι
Προϊόντα
Ηλεκτροστατικό τσοκ με συμβατότητα, υψηλής πυκνότητας, υψηλή δομική αντοχή με προσαρμοσμένο
Χαρακτηριστικά
Συμβατότητα | Προσαρμογή | Υψηλής πυκνότητας | Υψηλή δομική αντοχή | Γρήγορος χρόνος παράδοσης | Αποδοτική
Εφαρμογές
Lon-εμφύτευση | Λεπτή μεμβράνη | Etch | Ανάπτυξη Διαδικασιών | Σχεδιασμός Εξοπλισμού
Σχεδιασμός και Κατασκευή
Το Fab 12 ιντσών παραδίδεται για την επαλήθευση της πραγματικής απόδοσης, την παροχή αναγέννησης και επισκευής και την επαλήθευση της ανάπτυξης και του σχεδιασμού.
Με την ανάπτυξη εξοπλισμού διεργασίας και τεχνολογίας διεργασιών ημιαγωγών και ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, τα παραδοσιακά ηλεκτροστατικά τσοκ που χρησιμοποιούν οργανικά πολυμερή υλικά, οξείδια μετάλλων και κεραμικά υλικά ως διηλεκτρικά δεν είναι πλήρως συμβατά με υλικά όπως γκοφρέτες πυριτίου, ζαφείρι και καρβίδιο του πυριτίου. Επομένως, σταδιακά θα αναπτυχθούν ηλεκτροστατικά τσοκ συμβατά με τις λαβές γκοφρέτας ημιαγωγών πρώτης, δεύτερης και τρίτης γενιάς.
Πολυμερές Ηλεκτροστατικό Τσοκ / Θερμαντήρας
Το πολυμερές διηλεκτρικό υλικό (Polymer) είναι σήμερα το πιο ευρέως χρησιμοποιούμενο ηλεκτροστατικό υλικό τσοκ, η διαδικασία προετοιμασίας του είναι επίσης το πιο ώριμο, το πολυμερές διηλεκτρικό υλικό μετά την επεξεργασία τροποποίησης πολυμερούς, οι ηλεκτρικές, μηχανικές, αντίσταση θερμοκρασίας, οι ιδιότητες αντίστασης αλογόνου θα βελτιωθούν σημαντικά. Το διηλεκτρικό υλικό διαμορφώνεται με άλλες ενσωματωμένες λειτουργίες και στη συνέχεια στρωματοποιείται με βαρύ φορτίο κενού πολλαπλών σταδίων και σχηματίζεται ένα πυκνό στρώμα διηλεκτρικής μόνωσης μεταξύ των εσωτερικών ηλεκτροδίων.
Πολυμερές Ηλεκτροστατικό Τσοκ
Η τεχνολογία τροποποίησης πολυμερούς χρησιμοποιείται για την επίτευξη υψηλότερης αντίστασης όγκου και σχετικής διηλεκτρικής σταθεράς και για την επίτευξη πιο σταθερής δύναμης σύσφιξης.
Τα διηλεκτρικά υλικά υψηλής πυκνότητας μπορούν να μειώσουν τον κίνδυνο σωματιδίων και να μειώσουν την κινητικότητα των ιόντων.
Η ποικιλία των αντικειμένων σύσφιξης μπορεί να είναι συμβατή με τη σύσφιξη γκοφρετών διαφορετικών υλικών.
Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση σε ατμόσφαιρες αλογόνου και πλάσματος.
Υψηλή απόδοση κόστους, σύντομη περίοδος αποδοχής, κατάλληλη για ανάπτυξη διαδικασίας προϊόντος και επαλήθευση ανάπτυξης νέου εξοπλισμού.
Πολυμερές Ηλεκτροστατικό Τσοκ με Θερμοσίφωνο
Μπορεί να πραγματοποιήσει τη διάταξη πολλαπλών ζωνών θερμοκρασίας θέρμανσης (μέχρι 20 ζώνες θερμοκρασίας) και έχει καλή ομοιομορφία θερμοκρασίας θέρμανσης (±5%℃@150℃).
Η τεχνολογία πλαστικοποίησης κενού χρησιμοποιείται για την επίτευξη εξαιρετικά υψηλής πυκνότητας και θερμοκρασιών θέρμανσης έως 200 ° C.
Ομοιόμορφη καμπύλη θέρμανσης, με μεγαλύτερο εύρος καμπύλης θερμοκρασίας Ρυθμίσεις.
Υψηλή απόδοση κόστους, σύντομη περίοδος αποδοχής, κατάλληλη για ανάπτυξη διαδικασίας προϊόντος και επαλήθευση ανάπτυξης νέου εξοπλισμού.
Κεραμικά Ηλεκτροστατικό Τσοκ / Θερμοσίφωνο
Η τεχνολογία κεραμικής πήξης είναι μια βελτιωμένη διαδικασία πυροσυσσωμάτωσης στην ανάπτυξη κεραμικών ηλεκτροστατικών τσοκ και θερμαντήρων αλουμίνας/νιτριδίου αλουμινίου. Ο πυρήνας του είναι να χρησιμοποιεί μια ποικιλία από κεραμικές σκόνες διαμέτρου νανομέτρων, οι οποίες αναμειγνύονται σε μια ορισμένη αναλογία μέσω ενός μοναδικού εξοπλισμού ανάμειξης και διαδικασίας ανάμειξης. Κεραμικά ηλεκτροστατικά τσοκ με υψηλή πυκνότητα, σταθερή κρυσταλλική δομή και ομοιόμορφη κατανομή ειδικής αντίστασης πυροσυσσωματώθηκαν με μια συγκεκριμένη καμπύλη θερμοκρασίας πυροσυσσωμάτωσης σε εξοπλισμό πυροσυσσωμάτωσης. Το στατικό τσοκ που κατασκευάζεται με τεχνολογία κεραμικής πήξης έχει υψηλή πυκνότητα, σταθερή κρυσταλλική δομή και ομοιόμορφη κατανομή αντίστασης όγκου και μπορεί να πραγματοποιήσει την κανονική λειτουργία σύσφιξης του τσιπ στο σκληρό περιβάλλον υπό υψηλό κενό, πλάσμα και αλογόνο.
Al2O3 Ηλεκτροστατικό Τσοκ
Η αντίσταση όγκου ελέγχεται από την κεραμική τεχνολογία πήξης και τη διαδικασία συν-φύσης για να επιτευχθεί μεγαλύτερη δύναμη συγκράτησης.
Η εσωτερική δομή της πυροσυσσωμάτωσης υψηλής θερμοκρασίας είναι πυκνή και η κρυσταλλική δομή είναι σταθερή και μπορεί να επιτευχθεί η ικανότητα συγκράτησης ενός μεγαλύτερου διαστήματος θερμοκρασίας.
Η ενσωματωμένη χύτευση με ταυτόχρονη πυροδότηση μειώνει τη μετανάστευση ιόντων.
Διαρκής λειτουργία σε ατμόσφαιρα κενού αλογόνου πλάσματος.
Ηλεκτροστατικό Τσοκ AlN
Με τον έλεγχο της σύνθεσης και της αναλογίας του υλικού σκυροδέματος, μπορεί να ελεγχθεί η αντίσταση όγκου και να επιτευχθεί η ικανότητα συγκράτησης σε μεγαλύτερο διάστημα θερμοκρασίας.
Η ομοιόμορφη κατανομή της ζώνης θερμοκρασίας εξασφαλίζεται από την τεχνολογία πυροσυσσωμάτωσης και τη διαδικασία συν-φύσησης κεραμικών σκυροδέματος.
Ενσωματωμένη χύτευση με ταυτόχρονη πυροδότηση για μεγιστοποίηση της ποιότητας του προϊόντος.
Διαρκής λειτουργία σε ατμόσφαιρα κενού αλογόνου πλάσματος.
Κεραμικά Ηλεκτροστατικό Τσοκ με Θερμοσίφωνο
Μπορεί να πραγματοποιήσει τη διάταξη πολλαπλών ζωνών θερμοκρασίας θέρμανσης και έχει καλή ομοιομορφία θερμοκρασίας θέρμανσης (±7,5%℃@350℃).
Η τεχνολογία πυροσυσσωμάτωσης πλαστικοποίησης κενού χρησιμοποιείται για την επίτευξη εξαιρετικά υψηλής πυκνότητας και θερμοκρασιών θέρμανσης έως 550℃.
Ενσωματωμένη χύτευση με ταυτόχρονη πυροδότηση για μεγιστοποίηση της ποιότητας του προϊόντος.
Διαρκής λειτουργία σε ατμόσφαιρα κενού αλογόνου πλάσματος.
Ηλεκτροστατικό Τσοκ / Θερμοσίφωνα σύνθετου τύπου
Μπορεί να είναι συμβατό με πυρίτιο, αρσενικό γάλλιο, καρβίδιο του πυριτίου, ζαφείρι σύσφιξης γκοφρέτας, μπορεί να μειώσει το κόστος αλλαγής καλωδίων των κατασκευαστών εξοπλισμού και των τελικών χρηστών. Με βάση την τεχνολογία κεραμικού σκυροδέματος και την τεχνολογία τροποποίησης πολυμερών, η χρήση ενσωματωμένης πλαστικοποίησης κενού και τεχνολογίας θερμής συγκόλλησης μπορεί να μειώσει την εσωτερική θερμική αντίσταση του ηλεκτροστατικού απορροφητή, να επιτύχει ομοιομορφία εσωτερικής θερμοκρασίας, να σχηματίσει ένα πυκνό στρώμα διηλεκτρικής μόνωσης για να βελτιώσει την απόδοση αντίστασης μετανάστευσης ιόντων.
Ηλεκτροστατικό τσοκ σύνθετου τύπου
Η χρήση τεχνολογίας τροποποίησης κεραμικού και πολυμερούς σκυροδέματος, έχει υψηλότερη πυκνή δομή και χαμηλότερη απελευθέρωση αερίων.
Αυστηρότερος έλεγχος του πάχους του διηλεκτρικού στρώματος και της τράπεζας ηλεκτροδίων.
Η ποικιλία των αντικειμένων σύσφιξης μπορεί να είναι συμβατή με τη σύσφιξη διαφορετικών γκοφρετών.
Η ειδική αντίσταση του σώματος μπορεί να ελεγχθεί με ακρίβεια για να επιτευχθεί ισχυρότερη ηλεκτροστατική ικανότητα συγκράτησης.
Υψηλή απόδοση κόστους, σύντομη περίοδος αποδοχής, κατάλληλη για ανάπτυξη διαδικασίας προϊόντος και επαλήθευση ανάπτυξης νέου εξοπλισμού.
Ηλεκτροστατικό τσοκ σύνθετου τύπου με θερμάστρα
Μπορεί να πραγματοποιήσει τη διάταξη πολλαπλών ζωνών θερμοκρασίας θέρμανσης και έχει καλή ομοιομορφία θερμοκρασίας θέρμανσης (±3,5%℃@150℃).
Η τεχνολογία πλαστικοποίησης κενού χρησιμοποιείται για την επίτευξη εξαιρετικά υψηλής πυκνότητας και θερμοκρασιών θέρμανσης έως 200 ° C.
Ομοιόμορφη καμπύλη θέρμανσης, με μεγαλύτερο εύρος καμπύλης θερμοκρασίας Ρυθμίσεις.
Υψηλή απόδοση κόστους, σύντομη περίοδος αποδοχής, κατάλληλη για ανάπτυξη διαδικασίας προϊόντος και επαλήθευση ανάπτυξης νέου εξοπλισμού.