Hejmo
Ĉefa produkto
0102030405
Mikropora Ceramika Vakuo Chuck
Karakterizaĵoj de ceramika malplena mandrilo
Forta permeablo: unuforma aerpermeablo kaj akvopermeablo, por certigi la unuforman forton kaj firme adsorción de la silicia oblato en la muelanta procezo sen glitado.
Densa kaj unuforma strukturo: Adopto de mikro-pora ceramika materialo kun la densa kaj unuforma strukturo, kiu ne estas facile adsorbi silician polvon, kaj la chuck estas facile purigebla.
Alta forto: neniu deformado dum muelado, por certigi, ke la silicia oblato estas egale emfazita ĉe ĉiu punkto dum muelado, kaj ne facile okazas la fenomenoj de rando-kolapso, derompaĵoj.
Longa vivo: la surfacforma konservado estas bona, la vesta ciklo estas longa kaj la vesta kvanto estas malgranda, do ĝi havas altan vivon.
Facila vestado: ne estos fendetaĵoj, fragmentiĝo, draŝado fenomenoj dum vestado.
Malpeza: Pro la interna strukturo de poroj, la specifa pezokoeficiento estas 1.6-2.8.
Alta izolado: izola materialo, forigu statikan elektron.
Kontrolo de Precizeco
| kategorio | Baza materialo | Adsorba surfaca materialo | Grandeco | Plateco | profundo de paraleleco |
| Pora chuck | Aluminia Alojo | Pora SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
| Senrusta ŝtalo | ≤10μm | ≤15μm | |||
| Alumino | ≤5μm | ≤8μm | |||
| Silicia Karbido | ≤3μm | ≤8μm | |||
| La pora ceramika mandrilo havas kompletan gamon da specifoj kaj grandecoj, kiuj povas esti uzataj en la 3-cola linio, 4-cola linio, 5-cola linio, 6-cola linio, 8-cola linio kaj 12-cola linio, kaj povas esti personecigita laŭ la specifoj kaj grandecoj, kiujn vi bezonas. | |||||
| La maksimuma grandeco de la nuna kazo estas:1600*1600m, dikeco estas 50mm; | |||||
Karakterizaĵoj de pora ceramika materialo:
Ĉefaj ingrediencoj: alumino Koloro: nigra, fergriza
Alumina enhavo: 92% Humideco: 0%
Aperturo: 2~30um Poreco: 35~40%
Kurbiĝa forto: 6kgf/cm2 (Mpa) Volumo-proporcio: 2.28g/cm3
Ceramika chuck tipo
Laŭ la uzokutimo, Ceramika mandrilo estas dividita en:
Maldensiga maŝino ekipita per: abrasiva disko chuck, silicia oblato, safira substrato kaj aliaj maldikiĝo;
Tranĉilo estas ekipita per: skriba chuck, silicio-oblato, duonkondukta komponaĵo-oblato kaj alia tranĉado;
Puriga maŝino ekipita per: puriga mandrilo;
Filmforigmaŝino estas ekipita per: filmforiga mandrilo;
Laminadora maŝino ekipita per: laminadora mandrilo;
Presmaŝino ekipita per: presa mandrilo.
Kvalita certigo
Fountyl havas multajn jarojn da teknika sperto pri inĝenierado de ceramika precizeco kaj ultra-precizeca prilaborado kaj fabrikado, diversaj fizikaj kaj kemiaj analizaj instrumentoj kaj geometriaj mezurinstrumentoj, por certigi la stabilecon de produktado kaj konsistenco de produkto por ceramika chuck.
Produkta Apliko
Pora chuck (adsorba labortablo) estas komponanto uzata en la semikonduktaĵa produktadstadio kaj kunmetita sur skribmaŝino aŭ inspekta aparato. Ĝi estas produkto kiu povas uzi la poran strukturon kaj negativan premon de la surfaco de la laborbenko por konservi la maldikan silician oblaton plata. La skriba maŝino tranĉas la silician oblaton kun la larĝo ĉirkaŭ 20μm, do la postulo al ebeneco kaj paraleleco de la oblado-adsorba surfaco estas tre alta. Laŭ siaj respektivaj karakterizaĵoj, malsamaj poraj strukturoj havas malsamajn aplikajn gamojn, kiel mikropora ceramikaĵo kun granda specifa surfacareo kaj malgranda pora grandeco, kutime uzata en bakteria filtrado kaj mikroba fiksa kampo; Mezopora ceramikaĵo kun sia specifa diametrodistribuo estas ofte uzita en apartigo, adsorbadkatalizkampoj. Makropora ceramiko kutime taŭgas por malglata filtrado de substancoj kun granda enhavo kaj granda grandeco.