Introducción a la aplicación de cerámicas de precisión semiconductoras.

La cerámica avanzada es la base de toda la industria de los semiconductores. Debido a que la cerámica tiene las ventajas de alta dureza, alto módulo elástico, alta resistencia al desgaste, alto aislamiento, resistencia a la corrosión, baja expansión... etc., puede usarse como parte de la máquina pulidora de silicio, equipo de tratamiento térmico epitaxial/oxidación/difusión. , máquina de litografía, equipo de deposición, equipo de grabado de semiconductores, máquina de implantación de iones. Los dispositivos semiconductores requieren una gran cantidad de componentes cerámicos de precisión. Las cerámicas para equipos semiconductores incluyen alúmina, circonio, nitruro de silicio, nitruro de aluminio, carburo de silicio, óxido de itrio, etc. En los equipos semiconductores, el valor de la cerámica de precisión representa alrededor del 16%. Los equipos de semiconductores son el soporte clave de la cadena de la industria de semiconductores y la piedra angular de la fabricación de semiconductores, y el último informe de SEMI predice que las ventas mundiales de equipos de semiconductores ascenderán a entre 87.000 millones de dólares en 2023 y 87.400 millones de dólares, y se recuperarán hasta alcanzar los 100.000 millones de dólares en 2024.

Con el vigoroso desarrollo de la industria nacional de semiconductores, las fundiciones de obleas han construido fábricas en el sudeste asiático, lo que ha llevado a la mejora de los materiales y equipos de semiconductores que respaldan la asignación de recursos de la cadena de suministro extranjera a la inclinación nacional, pero también al surgimiento de muchos excelentes locales. Los fabricantes de equipos semiconductores, bajo la tendencia del desarrollo nacional, aumentará la demanda de piezas cerámicas de precisión para equipos semiconductores.

Debido a su posición e importancia en equipos semiconductores, las piezas cerámicas avanzadas deben cumplir con los requisitos integrales de rendimiento de los equipos semiconductores para materiales en mecánica mecánica, resistencia térmica, dieléctrica, ácida y alcalina y corrosión por plasma, y ​​requisitos de alta precisión, porque las piezas cerámicas en semiconductores Los equipos suelen estar muy cerca de la oblea y algunos incluso entran en contacto directamente con la oblea. Por tanto, el control de iones y partículas metálicas en su superficie es extremadamente estricto. Además, debido a que la producción de componentes cerámicos para dispositivos semiconductores implica la certificación del fabricante de equipos originales, pertenece a la industria con un alto umbral de exclusividad. Además, en el campo del embalaje y prueba de semiconductores, los materiales cerámicos también se pueden utilizar en revestimientos de embalaje de dispositivos semiconductores de potencia y tarjetas de sondas de prueba.

La cadena de la industria cerámica de semiconductores incluye el procesamiento de obleas semiconductoras, dispositivos semiconductores de potencia, embalaje y pruebas de empresas de aplicaciones posteriores; Equipos de litografía, equipos de difusión por oxidación, equipos de grabado, equipos de grabado en seco, equipos de implantación de iones, equipos de deposición de películas, equipos PVD, equipos CVD, equipos de deposición de capas atómicas (ALD), equipos de pulido mecánico químico, equipos de recocido láser de equipos semiconductores de alta gama empresas; Equipos de preparación de polvo, mezcladores, lijadoras, máquinas de tres rodillos, equipos de granulación por pulverización, máquinas de moldeo por inyección, máquinas de fundición, equipos de laminación, equipos de prensado en seco, moldeo con lechada, equipos de prensado isostático, equipos de serigrafía, desgrasadores, equipos de sinterización, CNC, fresadoras, equipos de pulido, equipos de chorro de arena, equipos de soldadura al vacío, accesorios de herramientas para empresas de equipos de producción y accesorios; Piezas cerámicas (brazo de manipulación, mandril electrostático, calentador cerámico, anillo de revestimiento, boquilla, cámara, tarjeta de sonda, astilla cerámica...etc.), cerámicas de alúmina, cerámicas porosas, cerámicas de circonio, cerámicas de nitruro de aluminio, cerámicas de nitruro de silicio, carburo de silicio. Cerámicas, cerámicas de carburo de silicio de aluminio...etc.