Cerámicas de carburo de silicio utilizadas en equipos de fabricación de semiconductores/circuitos integrados

Las cerámicas de carburo de silicio desempeñan un papel importante en los equipos de fabricación de circuitos integrados/semiconductores debido a sus propiedades físicas y químicas únicas. Sin embargo, cabe señalar que en la actualidad, la investigación, el desarrollo y la aplicación de piezas estructurales cerámicas de precisión para equipos centrales de circuitos integrados se concentran principalmente en los Estados Unidos, Japón, Europa y otros lugares, y todavía se encuentran en una posición de monopolio absoluto. . Por lo tanto, China aún necesita más investigación y avances en materiales cerámicos de carburo de silicio y tecnologías de preparación relacionadas.

1, GRAMOmandril de esmerilado y pulido

En el proceso de producción del plato de pulido de carburo de silicio, el material cerámico de carburo de silicio se procesa para darle la forma del plato y mediante un tratamiento de proceso especial, para que su superficie tenga excelentes propiedades de esmerilado y pulido. Cuando se usa, el mandril muele y pule la superficie de la pieza de trabajo absorbiendo la superficie de la pieza de trabajo, utilizando la dureza y nitidez de las cerámicas de carburo de silicio para eliminar impurezas como rebabas y óxidos en la superficie y mejorar el acabado y la precisión del superficie de la pieza de trabajo.

Las principales características del mandril de pulido y esmerilado de carburo de silicio incluyen:

o Alta dureza: las cerámicas de carburo de silicio tienen una dureza extremadamente alta, solo superada por el diamante, por lo que pueden realizar eficazmente operaciones de esmerilado y pulido para eliminar defectos e irregularidades en la superficie del material.

o Alta resistencia al desgaste: la alta dureza de las cerámicas de carburo de silicio también brinda una buena resistencia al desgaste, lo que puede mantener un desgaste pequeño durante el largo proceso de esmerilado y pulido y mejorar la vida útil de la herramienta.

o Alta estabilidad térmica: las cerámicas de carburo de silicio tienen una alta estabilidad térmica y un bajo coeficiente de expansión térmica, pueden mantener un rendimiento estable en ambientes de alta temperatura y son adecuadas para operaciones de esmerilado y pulido a alta temperatura.

o Buena estabilidad química: las cerámicas de carburo de silicio tienen buena estabilidad a la mayoría de las sustancias químicas, no son fáciles de corroer ni erosionar y pueden mantener un rendimiento estable en una variedad de entornos.

2, mandril litográfico

El mandril de litografía de carburo de silicio juega un papel importante en el proceso de fabricación de circuitos integrados. Puede proporcionar fijación y soporte de obleas de silicio estables y de alta precisión para garantizar el progreso fluido del proceso de litografía, mejorando así la eficiencia de fabricación y la calidad de los circuitos integrados.

Cabe señalar que el mandril de litografía de carburo de silicio es un componente clave en la fabricación de circuitos integrados y su tecnología de fabricación y requisitos de precisión son muy altos. En la actualidad, sólo unas pocas empresas extranjeras pueden fabricar mandriles litográficos para cumplir con los requisitos de la fabricación de circuitos integrados, y es necesario desarrollar y mejorar aún más la tecnología y los productos de China en esta área.

Las principales características del mandril de litografía de carburo de silicio incluyen:

o alta precisión: las cerámicas de carburo de silicio tienen una dureza y precisión extremadamente altas, lo que puede cumplir con los requisitos de fijación y soporte de alta precisión de las obleas de silicio en el proceso de fabricación de circuitos integrados.

o Alta estabilidad: las cerámicas de carburo de silicio tienen una alta estabilidad térmica y un bajo coeficiente de expansión térmica, lo que puede mantener un tamaño y forma estables durante el proceso de litografía para evitar afectar la precisión de la litografía.

o Buena estabilidad química: las cerámicas de carburo de silicio tienen buena estabilidad a la mayoría de las sustancias químicas, no son fáciles de corroer ni erosionar y pueden mantener un rendimiento estable durante el proceso de litografía.

o Alta fuerza de adsorción: la ventosa de litografía de carburo de silicio adopta una tecnología de adsorción especial, que puede adsorber firmemente obleas de silicio para garantizar que no se muevan ni se agiten durante el proceso de litografía, lo que garantiza la precisión y estabilidad de la litografía.

3, mandril de detección

El mandril de detección de carburo de silicio puede garantizar el buen progreso del proceso de detección, mejorando así la calidad de fabricación de los circuitos integrados. Al mismo tiempo, la vida útil del mandril de detección de carburo de silicio es larga, lo que puede reducir los costos de fabricación y de mantenimiento, y mejorar los beneficios económicos generales.

4, plataforma de movimiento de precisión

La plataforma de movimiento de precisión de carburo de silicio desempeña un papel importante en diversos campos de fabricación y procesamiento de alta precisión. Puede proporcionar soluciones de control de movimiento de alta precisión y estabilidad para procesamiento de semiconductores, fabricación óptica, nanotecnología y otros campos para mejorar la calidad del producto y la eficiencia de la producción.

Las principales características de la plataforma de movimiento de precisión de carburo de silicio incluyen:

o Alta precisión: las cerámicas de carburo de silicio tienen una dureza y precisión extremadamente altas, lo que puede cumplir con los requisitos de alta precisión de la plataforma de movimiento y garantizar la estabilidad y precisión de la plataforma durante el movimiento.

o Alta estabilidad: las cerámicas de carburo de silicio tienen una alta estabilidad térmica y un bajo coeficiente de expansión térmica, lo que puede mantener un rendimiento estable en altas temperaturas y ambientes hostiles, reducir la deformación dimensional y el error térmico y garantizar la estabilidad a largo plazo de la plataforma.

o Ligero: las cerámicas de carburo de silicio tienen baja densidad y alta resistencia, lo que puede lograr el diseño liviano de la plataforma, reducir la inercia del movimiento, reducir la carga del motor y mejorar la respuesta dinámica y la aceleración de la plataforma.

o Alta resistencia al desgaste: las cerámicas de carburo de silicio tienen una excelente resistencia al desgaste, pueden resistir movimientos a alta velocidad y desgaste por cargas pesadas y prolongan la vida útil de la plataforma.

5,Piezas de carburo de silicio de alta pureza para grabar enlaces 

En el proceso de grabado, los componentes de carburo de silicio de alta pureza desempeñan un papel clave. El carburo de silicio de alta pureza tiene excelentes propiedades físicas y químicas, como alta dureza, alta estabilidad térmica, buena estabilidad química y baja reactividad, lo que lo convierte en un material ideal para equipos de grabado.

Las piezas de carburo de silicio de alta pureza desempeñan un papel clave. El carburo de silicio de alta pureza tiene excelentes propiedades físicas y químicas, como alta dureza, alta estabilidad térmica, buena estabilidad química y baja reactividad, lo que lo convierte en un material ideal para equipos de grabado.

En los equipos de grabado por plasma, el carburo de silicio de alta pureza se utiliza a menudo para fabricar componentes clave como anillos de enfoque, cabezales rociadores de gas, paletas, anillos de borde, cavidades grabadas, boquillas de gas grabadas, etc. Estos componentes desempeñan un papel vital en el proceso de grabado. , como el anillo de enfoque para garantizar la distribución uniforme del plasma, el cabezal rociador de gas para controlar con precisión la inyección de gas, la bandeja y el anillo de borde para soportar y estabilizar la oblea que se va a grabar.

Las piezas de carburo de silicio de alta pureza muestran una buena estabilidad en el ambiente que contiene gas de grabado con cloro y flúor, y su baja reactividad puede reducir efectivamente la corrosión y el daño al equipo durante el proceso de grabado. Además, el carburo de silicio de alta pureza también tiene una conductividad eléctrica similar a la del silicio, lo que le permite conducir corriente de manera efectiva durante el proceso de grabado, asegurando la uniformidad y consistencia del grabado.

Con el progreso continuo de la fabricación de circuitos integrados, los requisitos para la tecnología de grabado son cada vez mayores. Los componentes de carburo de silicio de alta pureza, con su excelente rendimiento y estabilidad, son una de las claves para cumplir estos requisitos. Con el continuo desarrollo de la tecnología, la aplicación de carburo de silicio de alta pureza en el proceso de grabado será cada vez más amplia.

6, sistema de movimiento de precisión en la inspección de paquetes.

En el control de movimiento de alta velocidad y alta precisión, la alta dureza y la baja fricción de las cerámicas de carburo de silicio pueden reducir el desgaste y la fricción y mejorar la estabilidad y la vida útil del sistema. Al mismo tiempo, en el proceso de inspección del paquete, el cambio de temperatura puede tener un impacto en el sistema de movimiento de precisión, y la aplicación de cerámicas de carburo de silicio puede reducir efectivamente este impacto y mejorar la confiabilidad y estabilidad del sistema.

El sistema de movimiento de precisión de cerámica de carburo de silicio en el enlace de embalaje y prueba incluye componentes clave como riel guía, cojinete y bloque deslizante. La precisión de fabricación y el rendimiento de estos componentes afectan directamente la estabilidad y precisión de todo el sistema de movimiento. Por lo tanto, la tecnología de procesamiento de alta precisión y la tecnología de tratamiento de superficies de las cerámicas de carburo de silicio también son cruciales.

Las cerámicas de carburo de silicio también se utilizan para sistemas de movimiento de precisión en el proceso de inspección de paquetes de fabricación, como la alineación y el ajuste durante el empaquetado de chips.

Las cerámicas de carburo de silicio desempeñan un papel importante en el sistema de movimiento de precisión de la inspección de paquetes. Con el progreso continuo de la tecnología y la expansión de los campos de aplicación, la aplicación de cerámicas de carburo de silicio en sistemas de movimiento de precisión será cada vez más extensa.

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