Nelinurkne tala ja juhtsiin ülitäpse liikumisplatvormi ja tuvastusseadmete jaoks

Võttes näiteks vaakumpadruni komplekti, on kõige varasemal 2- ja 4-tolliste vahvlite ajastul kasutatud materjal lennukialumiinium, kuid suurte mõõtmete ajastul on see kokku puutunud ülikõrge tasapinnalisuse kitsaskohaga (parem kui 1 mikron). vahvlid (8 "ja rohkem kui 8"), mis ei vasta ülikõrge tasasuse kõvale indeksile ja on elimineeritud. Järgmiseks alumiiniumoksiidi materjal üleminekuna, selle elastsusmoodul, kerge kaal, soojusjuhtivus ja paisumiskoefitsient ning ränikarbiidist kääbus, kuid mitte mõnel piinlikul; Pärast läbimurret suuremõõtmelise ja keeruka erikujulise õõnesstruktuuriga ränikarbiidkeraamika valmistamise tehnoloogias on uuendatud komponente, sealhulgas ülitäpne tooriku alus, ülitäpne õhuujuk ja vahvliülekande õlg.

Mitte ainult ülalnimetatud ränikarbiidist keraamilised osad, mis vastavad ülikõrge täpsusega kõvadele tasasuse, paralleelsuse ja vertikaalsuse näitajatele, vaid kõrge puhtusastmega ränikarbiidist keraamiliste osade jaoks, mida on vaja pooljuhtide tööstuse vahvlite difusiooni-, dopingu- ja söövitusprotsessides. , eriti kõrge puhtusastmega CVDSiC materjali ettevalmistamise tehnoloogias, sellel on küps protsessitehnoloogia ja see on valmistanud kõrge puhtusastmega ränikarbiidist keraamilist kristallpaati, ränikarbiidist keraamilist laagriplaati, ränikarbiidist keraamilist õhuga ujuvat liikumisplatvormi, ränikarbiidi ultra-ränikarbiidi -Täpselt liikuv platvorm, ränikarbiidist juhtsiin, ränikarbiidist liugsiiniga komponendid.

Tulevikus laiendame veelgi ränikarbiidmaterjalide rakendust pooljuhtide tööstuses ning panustame pooljuhtide tööstuse keti ja ränikarbiidi keraamikatööstuse uuendamisse. Hiina täppis-ränikarbiidi keraamiliste komponentide sõltumatud uuringud ja kodumaiste rakenduste edendamine on just alanud, pooljuhtide tööstuse jõulise arenguga on turunõudlus sedalaadi tipptasemel keraamiliste struktuuride järele üha suurem, ränikarbiid, millel on suurepärane füüsiline ja keemiliste omaduste tõttu on pooljuhtide tööstuses lai kasutusvõimalused.