Hasiera
Produktu nagusia
Beam karratua eta gida-erraila zehaztasun handiko mugimendu-plataforma eta detektatzeko ekipoetarako
Hutseko mandrilaren muntaia adibide gisa hartuta, 2 hazbeteko eta 4 hazbeteko obleen aroan erabilitako materiala abiazio aluminioa da, baina lautasun ultra-altuko (mikra 1 baino hobea) topo egin du tamaina handiko aroan. obleak (8 "eta 8 baino gehiago"), lautasun ultra-altuko indize gogorra bete ezin dutenak eta ezabatu egiten direnak. Ondoren, alumina materiala trantsizio gisa, bere modulu elastikoa, pisu arina, eroankortasun termikoa eta hedapen koefizientea eta silizio karburoa nanoa, baina ez lotsagarri batzuk; Silizio karburozko zeramikazko egitura hutsal handiko eta konplexu konplexuen prestatzeko teknologian aurrerapausoaren ondoren, piezaren oinarri ultra-doitasun, ultra-doitasun handiko aire flotatzaile-gida eta obleen transmisio-besoa berritu dira.
Lautasunari, paralelismoari eta bertikaltasunari buruzko zehaztasun ultra-altuko adierazle gogorrak betetzen dituzten aipatutako silizio karburo zeramikazko piezak ez ezik, erdieroaleen industrian obleen difusiorako, dopatzerako eta grabatu prozesuetarako beharrezkoak diren purutasun handiko silizio karburozko zeramikazko piezak. , batez ere purutasun handiko CVDSiC materiala prestatzeko teknologian, prozesu heldua duen teknologia du, eta purutasun handiko silizio karburo zeramikazko kristalezko itsasontzien fabrikazioaz jabetu da, silizio karburo zeramikazko errodamendu-plaka, silizio karburo zeramikazko aire mugitzeko plataforma, silizio karburoa ultra. - Zehaztasun-plataforma mugikorra, silizio karburozko gida-erraila, silizio-karburoko irristagailuen osagaiak.
Etorkizunean, silizio karburozko materialen aplikazioa erdieroaleen industrian gehiago zabalduko dugu eta erdieroaleen industria katea eta silizio karburo zeramika industria hobetzen lagunduko dugu. Txinako doitasuneko silizio karburoko zeramikazko osagaien ikerketa independentea eta etxeko aplikazioen sustapena hasi berri da, erdieroaleen industriaren garapen indartsuarekin, goi-mailako zeramikazko egitura mota honen merkatuaren eskaria gero eta handiagoa izango da, silizio karburoa bere fisiko eta bikainarekin. propietate kimikoak, erdieroaleen industrian aplikazio aukera zabalak ditu.
Silizio karburoko zeramikak ez ditu soilik propietate mekaniko bikainak giro-tenperaturan, hala nola tolestura-erresistentzia handia, oxidazio-erresistentzia bikaina, korrosioarekiko erresistentzia ona, higadura-erresistentzia eta marruskadura-koefiziente baxua, baina baita tenperatura altuko propietate mekanikoak ere (indarra, erresistentzia erresistentzia, etab.) zeramikazko material ezagunenak dira. Silizio karburoak korrosioarekiko erresistentzia, tenperatura altuko erresistentzia, indar handia, eroankortasun termiko ona, talka erresistentzia... etab.
Piezen mahaiaren egiturarako litografia-makinaren eskakizunak: Ultra-arina (mugimenduaren inertzia murriztea, motorraren karga murriztea), egonkortasun oso altua (zehaztasun ultrazehaztasun handiko mekanizazioak zehaztasun handiko mugimendua eta kokatzea eskatzen du, hedapen termikoaren dimentsio-deformazio minimoa eta beste faktore batzuk behar ditu). ), garbitasuna (gogortasun handia eta higadura erresistentzia handia), tamaina handiko, horma mehe hutsa, egitura konplexua eta doitasuneko silizio karburozko pieza estrukturalen eskakizun teknikoak bete ditzake fotolitografia-makinak irudikatzen duen zirkuitu integratuaren fabrikaziorako funtsezko ekipamenduetarako.
Fountyl gaitasunak
Gehienezko tamaina:1600 mm.
Egituraren pertsonalizazioa:egitura arina, pisuaren egitura murrizteko diseinatu daiteke.
Zehaztasun handia:Lautasuna 5 mikra edo are zehaztasun handiagoan kontrola daiteke.