خلاء در ساخت نیمه هادی ها بسیار مهم است، در صنعت نیمه هادی ها از محیط خلاء در فرآیندهای مختلفی استفاده می شود که شامل رسوب گیری بخار فیزیکی (PVD) ، Chemical V ...
اپیتاکسی به فناوری رشد کریستال یا رسوب مواد اشاره دارد که موقعیت بسیار مهمی در فرآیندهای تولید میکروالکترونیک و اپتوالکترونیک دارد.
