ویژگی های کیفیت کریستال با کیفیت بالا لایه همپایی SiC باعث می شود که لایه همپایی باید دارای ساختار کریستالی با خلوص بالا و چگالی نقص کم باشد تا از قابلیت اطمینان اطمینان حاصل شود.
مکنده الکترواستاتیک که به نام چاک الکترواستاتیک (ESC, e-Chuck) نیز شناخته می شود، فیکسچری است که از اصل جذب الکترواستاتیکی برای نگه داشتن و تثبیت جسم جذب شده، مناسب برای...
