خلاء در ساخت نیمه هادی ها بسیار مهم است، در صنعت نیمه هادی ها از محیط خلاء در فرآیندهای مختلفی استفاده می شود که شامل رسوب گیری بخار فیزیکی (PVD) ، Chemical V ...
با توسعه سریع فناوری اطلاعات و تقاضای فزاینده برای دستگاه های الکترونیکی با راندمان بالا، مواد نیمه هادی نسل سوم که توسط کاربید سیلیکون (SiC...