خلاء در ساخت نیمه هادی ها بسیار مهم است، در صنعت نیمه هادی ها از محیط خلاء در فرآیندهای مختلفی استفاده می شود که شامل رسوب گیری بخار فیزیکی (PVD) ، Chemical V ...
سرامیک های کاربید سیلیکون به دلیل خواص فیزیکی و شیمیایی منحصر به فرد خود نقش مهمی در تجهیزات تولید نیمه هادی/مدارات مجتمع ایفا می کنند.
