ASML در 1 آوریل 1984 با نام ASM Lithography تاسیس شد. ماموریت این سرمایه گذاری مشترک بین فیلیپس و ASM اینترنشنال تجاری سازی PAS 2000، یک ویفر استپر توسعه یافته توسط فیلیپس است.
یکی از مزایای EUV کاهش مراحل پردازش تراشه است و استفاده از EUV به جای فناوری سنتی چند گانه، مراحل رسوب گذاری، اچینگ و ... را کاهش می دهد.
