با توسعه سریع فناوری اطلاعات و تقاضای فزاینده برای دستگاه های الکترونیکی با راندمان بالا، مواد نیمه هادی نسل سوم که توسط کاربید سیلیکون (SiC...
خلاء در ساخت نیمه هادی ها بسیار مهم است، در صنعت نیمه هادی ها از محیط خلاء در فرآیندهای مختلفی استفاده می شود که شامل رسوب بخار فیزیکی (PVD)، Chemical V...
