یکی از مزایای EUV کاهش مراحل پردازش تراشه است و استفاده از EUV به جای فناوری سنتی چند گانه، مراحل رسوب گذاری، اچینگ و ... را کاهش می دهد.
در فرآیند تولید ویفر، ویفر باید تا دمای خاصی گرم شود و یکنواختی دمای ویفر الزام بسیار سختی دارد، زیرا دمای یکنواخت ویفر...
