داستان کارآفرینی ASML: مسیر رشد برای یک غول لیتوگرافی

ASML در 1 آوریل 1984 با نام ASM Lithography تاسیس شد. ماموریت این سرمایه گذاری مشترک بین فیلیپس و ASM اینترنشنال تجاری سازی PAS 2000، یک استپر ویفر توسعه یافته توسط فیلیپس است.

1، Dچندگانه صنعت

در دهه های 1960 و 1970، سازندگان تراشه اکثریت قریب به اتفاق زنجیره ارزش نیمه هادی ها را در داخل ساختند - تمام مراحل مورد نیاز برای ساخت یک ریزتراشه تمام شده. سپس، در اواخر دهه 1970 و اوایل دهه 1980، فناوری ساخت نیمه هادی از نظر اندازه و پیچیدگی به سرعت رشد کرد. این توسعه منجر به تقسیم کار در زنجیره ارزش نیمه هادی شده است. صنعت تجهیزات نیمه هادی برای ارائه راه حل های نهایی به بازار آمد. با این قابلیت خارج از قفسه، دیگر برای سازندگان تراشه و کاربران منطقی نیست که تجهیزات تولید تراشه خود را توسعه دهند.

تامین کنندگان تجهیزات تخصصی به ویژه برای توسعه سیستم های لیتوگرافی پیچیده برای چاپ الگوها بر روی ریزتراشه ها مهم هستند. بهبود این سیستم ها به گونه ای که بتوانند ویژگی های کوچکتر را چاپ کنند، کلید پیشبرد قانون مور است. برای سازندگان تراشه، ترانزیستورهای بیشتر به معنای دستیابی به توانایی محاسباتی بیشتر با هزینه کمتر است.

2، نمونه اولیه PAS 2000

در این زمینه بود که فیلیپس شروع به توسعه استپر ویفر خود برای الگوبرداری ویفرهای سیلیکونی کرد. نمونه اولیه Silicon Repeater (SIRE) I و II توسط مرکز تحقیقات فیلیپس توسعه داده شد. Philips Automated Stepper 2000 از این نمونه های اولیه تحقیقاتی متولد شد.

در مرکز تحقیقات فیلیپس، جایی که بخش فیلیپس عمدتاً بر تحقیقات پایه تمرکز دارد، استپرهای ویفری چیزی شبیه به یک ناهنجاری است. تقاضای بازار به طور فزاینده ای باعث تحقیق و توسعه سازمانی می شود و تجهیزات تولید مهندسی بیشتر مورد استفاده قرار می گیرند. از سال 1978، علم و صنعت فیلیپس (S&I) تلاش‌های تجاری‌سازی را تحت نام PAS2000 ترویج کرد.

3.سیاست صنعتی، سرمایه گذاران و کارآفرینان

با شروع در اواخر دهه 1970، تحت هدایت کمیسیون اروپا، دولت های اروپای غربی سیاست صنعتی را تغییر دادند. آنها بر نوآوری و همکاری متمرکز هستند و صنایع نوظهور را هدف قرار می دهند، به ویژه صنایع نیمه هادی و میکروالکترونیک که به سرعت در حال رشد هستند. این سیاست ها ابزار جدیدی برای تقویت فعالیت های اقتصادی و در صورت امکان احیای شرکت های در حال مبارزه هستند که بسیاری از آنها (از جمله فیلیپس) شروع به فروپاشی کرده اند.

بنا به درخواست کمیسیون، فیلیپس و سایر شرکت ها اهمیت این صنایع را برای دولت های متبوع خود بیان کردند. پس از دریافت این اطلاعات از بزرگترین شرکت الکترونیکی اروپا، دولت هلند درک بیشتری از موضوع پیدا کرده و اقدامات پیگیری خود را اطلاع رسانی کرده است.

افزایش هزینه‌ها، رقابت جهانی و پیشرفت‌های فناوری، شرکت‌های بزرگ را مجبور می‌کند تا کسب‌وکارهای غیر اصلی را واگذار کرده و فعالیت‌های خود را دوباره متمرکز کنند. برای فیلیپس، یکی از این فعالیت‌ها استپر ویفر بود. در عین حال، شرکت‌های سرمایه‌گذاری خطرپذیر نوظهور و شرکت‌های نوپا و مقیاس کارآفرینی الگوی جدیدی برای رشد صنعتی ارائه می‌کنند.

4- فشار برای پیشرفت

در اوایل سال 1982، جاه طلبی های لیتوگرافی فیلیپس با چالش بزرگی مواجه شد. آنها به منابع مهندسی بیشتری نیاز دارند. اگرچه آنها به IBM، یک مشتری خارجی برای ابزار ارزیابی مراجعه کردند، اما عدم اطمینان قابل توجهی در مورد اینکه آیا این ابزار به موقع برای تابستان 1982 تحویل می شود وجود داشت. مهندسان مرکز تحقیقات فیلیپس بلافاصله به کمک آمدند. مدیران S&I اغلب از لاهه و بروکسل بازدید می کنند تا از دولت هلند و کمیسیون اروپا کمک مالی بیشتری دریافت کنند. تحت فشار زمان، پول و وزارت اقتصاد هلند، فیلیپس اس اند آی شروع به جستجوی شریکی برای ویفر استپر خود کرد. این منجر به گفتگوهای اولیه با Cobilt، یک شرکت تولید کننده تراز و ردیاب ماسک شد و به دنبال آن با پرکین المر، رهبر بازار لیتوگرافی، گفتگو شد.

در همان زمان، گفتگوی سه جانبه بین وزارت امور اقتصادی هلند، فیلیپس و یک شرکت هلندی در حال رشد، ASM International (یا به اختصار ASM) آغاز شد. در چارچوب پروژه جدید میکروالکترونیک کمیسیون اروپا ESPRIT، شرکت های تراشه نگرانی خود را در مورد اتکای خود به تجهیزات آمریکایی ابراز کرده اند. برای رفع نیازهای صنعت، وزارتخانه و خود آرتور دل پرادو ASM را به عنوان یک راه حل بالقوه پیشنهاد کردند.

5،به دنبال مشارکت

با این حال، فیلیپس موقعیت ASM را بسیار پایین در نظر گرفت و از Perkin Elmer حمایت کرد. علیرغم اینکه دل پرادو روحیه کارآفرینی و موفقیت دارد، مدیران فیلیپس همچنان ASM را یک تازه کار می دانند. پرکین المر یک شرکت بزرگ و متنوع با پایه نصب بزرگ ابزارهای لیتوگرافی، شریک قوی تری در نظر گرفته شد. علاقه متقابل است. در اوایل دهه 1980، استپرهای ویفر کنترل بیشتری بر روی کوچکترین اندازه های ویژگی با بهره وری قابل قبول نسبت به Micraligns پرکین المر ارائه کردند. این شرکت آمریکایی به دنبال تثبیت سریع موقعیت خود در بازار در میان افزایش رقابت است.

پرکین المر در حال بررسی مشارکت با فیلیپس اس اند آی یا استارتاپ سانسور لیختن اشتاین است. آنها فیلیپس را ترجیح دادند، با استناد به منابع شرکت و ماهیت پیشرفته PAS 2000. در سرمایه گذاری مشترک پیشنهادی، Perkin Elmer نقش اصلی را ایفا خواهد کرد و مسئول فروش و خدمات خواهد بود. فیلیپس به فناوری و قابلیت های تولید کمک خواهد کرد. با این حال، فیلیپس در اعطای دسترسی به منابع داخلی خود، مانند مرکز تحقیقاتی فیلیپس، تردید داشت. این تردید مذاکرات را بیش از حد طولانی کرد و در نهایت پرکین المر با سانسور همکاری کرد.

6 فوریت پروژه

تا سال 1983، تیم استپر ویفر فیلیپس اس اند آی، متشکل از حدود 50 مهندس، با عدم قطعیت مواجه بود. آنها برای ارتقا، تولید و فروش دستگاه به حدود 120 میلیون گیلدر (حدود 245 میلیون یورو در سطوح قیمت فعلی) نیاز دارند. علی‌رغم تلاش‌های سخت و مداوم تروست، از جمله کاوش در همکاری با Varian و Panasonic، تیم ویفر استپر خیلی دیر کار کرد. فوریت محسوس است.

7، آغاز ASML

در 5 سپتامبر 1983، فیلیپس و ASM قصد خود را برای تشکیل یک سرمایه گذاری مشترک اعلام کردند. طی چند ماه آینده، آنها جزئیات این مشارکت را اصلاح کردند. سهام وزارت اقتصاد یا ابزارهای سرمایه گذاری آن در نظر گرفته شد. مذاکراتی برای ورود به مرکز تحقیقات فیلیپس انجام شد. کمک های نقدی و غیرنقدی مشخص شد. طرح بازگشت سرمایه تهیه شد. یک مدیر کل جدید جاه طلب و رویا به نام گجالت اسمیت این مسئولیت را بر عهده گرفت. نکته مهم این است که به 50 کارمند فعلی فیلیپس S&I شرایط استخدامی جذابی ارائه شده است. اما از آنجا که آنها تمام عمر خود را در فیلیپس کار کرده اند، سرمایه گذاری مشترک را نوعی واگذاری برای فیلیپس می دانند. مردم تمایلی ندارند به استارت آپی ایمان بیاورند که به بازار دسترسی ندارد و فناوری های کلیدی آن باید دوباره طراحی شوند. با وجود این، این گروه هنوز 47 امضاکننده دارد.

از ابتدا، ASML به عنوان تجسم کارآفرینی مبتنی بر نوآوری در نظر گرفته می شد و انتظار می رفت که ظرفیت اقتصادی آینده هلند را تضمین کند. شرکت های جوان، با انگیزه و اشتیاق، آینده ای مبهم اما امیدوارکننده را آغاز می کنند. نقل مکان به Veldhoven ممکن است پایان این داستان باشد، اما برای ASML این فقط آغاز است. آن روزهای اولیه در سوله بیرونی فیلیپس، پایه و اساس رشد ASML را به شرکتی که امروز می شناسیم، گذاشت. این تیم خلاق و مصمم است که نوآوری های فنی را دنبال کند و محدودیت های ممکن را پشت سر بگذارد.

8- آغاز فروتنانه

در سال 1988، پس از تاسیس شرکت فیلیپس در تایوان، ما شروع به ورود به بازار آسیا کردیم. در ایالات متحده، ما از چند کارمند به 84 نفر در پنج مکان افزایش یافته ایم. اما در یک بازار بسیار رقابتی با تامین کنندگان بسیار، این شرکت کوچک کمتر شناخته شده هلندی نتوانست از آن عبور کند.

ASML مشتریان بسیار کمی داشت تا بتواند به خود متکی باشد. بدتر از آن، سهامدار ASMI، که قادر به حفظ سطح بالایی از سرمایه گذاری با بازده اندک نبود، تصمیم به عقب نشینی گرفت، در حالی که وضعیت صنعت الکترونیک جهانی از بد به بدتر شدن می رفت، فیلیپس برنامه کاهش هزینه های گسترده را اعلام کرد. بقای شرکت لیتوگرافی جوان ما که پول نقد می کند، در تعادل است. مدیران ASML با اعتقاد راسخ به تحقیق و توسعه مداوم و نیاز فوری به راهنمایی های مالی، با عضو هیئت مدیره فیلیپس، هنک بوت، تماس گرفتند که همکارش را متقاعد کرد که دست آخر را ارائه دهد.

9. از دست دادن تا عرضه اولیه

از سرمایه گذاری به خوبی استفاده شده است. در طول سال، ما پلتفرم موفق PAS 5500 خود را راه‌اندازی کردیم. با بهره‌وری و وضوح پیشرو در صنعت، PAS 5500 مشتریان کلیدی مورد نیاز ASML را برای سودآوری جذب کرده است. این اولین قدم به سوی بلوغ است.

PAS 5500 پلتفرمی است که ASML برای آن شناخته شده است. قبل از راه اندازی، ASML در بازار لیتوگرافی پس از غول های نیکون و کانن در رتبه سوم قرار داشت. اما موفقیت پلت فرم PAS 5500 به سرعت ASML را به جایگاه دوم رساند و زمینه را برای رشد آن به عنوان یک رهبر جهانی در لیتوگرافی فراهم کرد. PAS 5500 از مجموعه ای از سیستم هایی که توسط محققان فیلیپس در دهه 1970 آغاز شد، رشد کرد. نام پلتفرم خود نشان دهنده میراث آن و رابطه دیرینه ما با فیلیپس است: پله اتوماتیک فیلیپس (PAS).

ASML در سال 1995 به یک شرکت سهامی عام کاملا مستقل تبدیل شد که در بورس اوراق بهادار آمستردام و نیویورک فهرست شده است. فیلیپس نیمی از سهام خود را در عرضه اولیه و بقیه را در سال های بعد فروخت. IPO سرمایه‌هایی را برای تقویت بیشتر رشد ما به ارمغان آورد و ما مرکز تحقیق و توسعه و تولید خود را در Veldhoven De Run گسترش دادیم که بعداً به دفتر مرکزی جدید ما تبدیل شد.

10،TWINSCAN و فناوری غوطه وری راه را هموار کردند

در سال 2001، سیستم TWINSCAN و تکنولوژی دو مرحله ای انقلابی آن را معرفی کردیم. این سیستم ها ویفر دیگری را در حین اندازه گیری و تراز کردن ویفر بعدی نشان می دهند و بهره وری و دقت سیستم را به حداکثر می رساند و در نتیجه ارزش مالکیت را برای مشتری افزایش می دهد. در همان سال، خرید Silicon Valley Group را تکمیل کردیم و قابلیت‌های ASML را در پیشرفت‌های فناوری نیمه‌رساناها افزایش دادیم. TWINSCAN AT:1150i به عنوان اولین دستگاه غوطه وری در سال 2003 معرفی شد، پس از آن TWINSCAN XT:1250i، XT:1400i، و اولین دستگاه غوطه وری به تولید انبوه، XT:1700i، در سال 2006 عرضه شد.

در سال 2007، سیستم غوطه وری TWINSCAN XT:1900i را با دیافراگم عددی 1.35 معرفی کردیم که بالاترین مشخصات در صنعت است. با استفاده از این فناوری جدید، مشتریان را قادر می‌سازیم تا با پرتاب نور از لایه آب بین لنز و ویفر، ویژگی‌های تراشه کوچک‌تری تولید کنند. بعداً در سال 2007، ما BRION، ارائه‌دهنده پیشرو در طراحی نیمه‌رساناها و راه‌حل‌های بهینه‌سازی ساخت را خریداری کردیم. این آغاز استراتژی «لیتوگرافی کل نگر» ما بود. ما دانش خود را در مورد سیستم های لیتوگرافی با مهارت های خود در بهینه سازی فرآیندهای تولید تراشه قبل، حین و بعد از لیتوگرافی ترکیب می کنیم. یکی دیگر از محصولات کلیدی در مراحل اولیه استراتژی کلی لیتوگرافی ما YieldStar است، سیستم اندازه‌شناسی ما که اندازه‌گیری و کالیبراسیون بلادرنگ را در طول فرآیند تولید تراشه فراهم می‌کند. اولین YieldStar (250D) در سال 2008 به مشتریان تحویل داده شد.

11،بار دیگر با EUV تغییر دهید

در اوایل سال 2020، EUV وارد تولید انبوه شد و ما ارسال صدمین سیستم EUV خود را جشن گرفتیم. اما سال 2020 به دلیل دیگری نیز مهم است: همه‌گیری COVID-19. تیم‌های ما در سرتاسر جهان توانایی خود را در سازگاری و بداهه‌سازی با پشتیبانی از راه دور مشتریان به روش‌های نوآورانه جدید، استفاده از تخصص خود برای پاسخ به بیماری‌های همه‌گیر و دستیابی به حمایت از جوامع محلی ثابت کرده‌اند. ثابت کنند که توانایی انطباق و بداهه سازی دارند.

در نوامبر 2020، خرید گروه برلینر گلس به پایان رسید و ما به طور رسمی از تیم برلینر گلس در خانواده ASML استقبال کردیم. بخش فنی شیشه گروه در آوریل 2021 به گروه Glas Trosch تقسیم شد.

در سال 2023، ما اولین سیستم نسل بعدی EUV را با دیافراگم عددی تا 0.55 (به نام "دیافراگم عددی بالا") معرفی کردیم. این پلتفرم که EXE نام دارد، دارای طراحی نوری جدید و پلتفرم بسیار سریع‌تری است.

با نگاهی به آینده، ASML به معجزه خود ادامه خواهد داد. Fountyl Technologies PTE Ltd، بر صنعت تولید نیمه هادی تمرکز دارد، محصولات اصلی عبارتند از: پین چاک، چاک سرامیکی متخلخل، افکتور انتهایی سرامیکی، پرتو مربع سرامیکی، دوک سرامیکی، خوش آمدید به تماس و مذاکره!