معرفی بخاری سرامیکی نیترید آلومینیوم، جزء کلیدی تجهیزات نیمه هادی

امروز به شما اجزای کلیدی تجهیزات نیمه هادی - هیتر سرامیکی و سازندگان مرتبط را معرفی می کنیم. در فرآیند ساخت دستگاه های نیمه هادی مانند مدارهای مجتمع، عملیات های مختلفی از جمله تشکیل فیلم و اچینگ بر روی ویفرهای نیمه هادی انجام می شود. در فرآیند تولید ویفر، ویفر باید تا دمای خاصی گرم شود، و یکنواختی دمای ویفر یک الزام بسیار دقیق دارد، زیرا یکنواختی دمای ویفر تأثیر بسیار مهمی بر کیفیت تراشه های نیمه هادی دارد. در عین حال، کار در محیط های خلاء، پلاسما، گاز شیمیایی نیز ضروری است که نیاز به استفاده از بخاری های سرامیکی دارد.

هیترهای سرامیکی اجزای مهمی در دستگاه‌ها برای رسوب فیلم نیمه‌رسانا هستند که می‌توانند به توزیع دمای یکنواخت، گرمایش یکنواخت ویفرها دست یابند و واکنش با دقت بالا را روی سطح زیرلایه و تشکیل فیلم‌ها ممکن می‌سازند. به طور کلی، بخاری سرامیکی شامل یک بستر سرامیکی با سطح بارگیری ویفر و یک بدنه استوانه ای شکل در پشت است تا برای آن پشتیبانی کند. علاوه بر مدار عنصر گرمایش مقاومتی برای گرمایش، بدنه رسانا مانند الکترود RF و الکترود چاک الکترواستاتیک نیز بر روی سطح داخلی یا سطح زیرلایه سرامیکی نصب می‌شود.

بخاری های سرامیکی معمولا از سرامیک نیترید آلومینیوم استفاده می کنند، نیترید آلومینیوم دارای عایق الکتریکی و هدایت حرارتی عالی است، برای کاربردهایی که نیاز به اتلاف گرما دارند ایده آل است. علاوه بر این، از آنجایی که ضریب انبساط حرارتی آن نزدیک به سیلیکون است و دارای مقاومت پلاسمایی عالی است، می توان از آن برای ساخت قطعات تجهیزات پردازش نیمه هادی استفاده کرد.

بر اساس گزارش پژوهشی Business Research Insights، مقیاس بازار جهانی بخاری سرامیکی نیترید آلومینیوم در سال 2022، 33 میلیون دلار است و انتظار می‌رود تا سال 2031 با نرخ رشد ترکیبی سالانه 10 درصد در طول دوره پیش‌بینی، به 78.529 میلیون دلار برسد. بازار جهانی بخاری سرامیکی تحت تسلط شرکت های خارجی است و در حال حاضر وضعیت سطح خودتنظیم هیترهای سرامیکی سنگاپور با سایر قطعات نیمه هادی و مواد اولیه کلیدی مانند چاک الکترواستاتیک مطابقت دارد و سنگاپور و شرکت های داخلی بسیار اندک هستند. رسیدن.

Fountyl Technologies PTE Ltd که در سال 2023 تأسیس شد، پس از سالها تحقیق و توسعه به تدریج انحصار خارجی را شکست و محصولات آن مانند چاک سرامیکی، چاک پین، بازوهای سرامیکی، تیرهای مربع سرامیکی، راهنماهای سرامیکی، بوش های بلبرینگ و میزهای گرمایشی هستند. به طور گسترده در تولید کنندگان تجهیزات نیمه هادی خط اول جهان و شرکت های تولید الکترونیک استفاده می شود.

با تکیه بر قابلیت های مواد پیشرو و فناوری غنی پردازش و ساخت، قطعات مواد سرامیکی پیشرفته آن طیف وسیعی از زمینه های پایین دستی را پوشش می دهد. سرامیک های پیشرفته عمدتاً در تجهیزات فرآیند تولید ویفر استفاده می شود و اکنون وارد تجهیزات اچینگ، رسوب فیلم، کاشت یون، لیتوگرافی و تجهیزات انتشار اکسیداسیون شده است و در تجهیزات فرآیند نیمه هادی دسته ای و فرآیندهای تولید استفاده می شود. سرامیک های پیشرفته برای تجهیزات نیمه هادی شامل استوانه های حلقوی، باربر، گریپر و ماژول ها در بخاری های سرامیکی است.