مقدمه ای بر کاربرد سرامیک های دقیق نیمه هادی

سرامیک های پیشرفته پایه و اساس کل صنعت نیمه هادی هستند. از آنجایی که سرامیک ها دارای مزایای سختی بالا، مدول الاستیک بالا، مقاومت در برابر سایش بالا، عایق بالا، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط کم و غیره هستند، می توان از آن به عنوان بخشی از دستگاه پرداخت سیلیکون، تجهیزات عملیات حرارتی اپیتاکسیال / اکسیداسیون / انتشار استفاده کرد. ، دستگاه لیتوگرافی، تجهیزات رسوب گذاری، تجهیزات اچینگ نیمه هادی، دستگاه کاشت یون. دستگاه های نیمه هادی به تعداد زیادی از قطعات سرامیکی دقیق نیاز دارند. سرامیک های تجهیزات نیمه هادی شامل آلومینا، زیرکونیا، نیترید سیلیکون، نیترید آلومینیوم، کاربید سیلیکون، اکسید ایتریم و غیره است. در تجهیزات نیمه هادی، ارزش سرامیک های دقیق حدود 16٪ است. تجهیزات نیمه هادی پشتیبان کلیدی زنجیره صنعت نیمه هادی و سنگ بنای تولید نیمه هادی است و آخرین گزارش SEMI پیش بینی می کند که فروش جهانی تجهیزات نیمه هادی در سال 2023 به 87.4 میلیارد دلار خواهد رسید و در سال 2024 به 100 میلیارد دلار بازیابی خواهد شد.

با توسعه شدید صنعت نیمه هادی داخلی، ریخته گری ویفر کارخانه هایی را در آسیای جنوب شرقی ساخته اند، که منجر به بهبود مواد و تجهیزات نیمه هادی، تخصیص منابع زنجیره تامین خارجی به شیب داخلی و همچنین ظهور بسیاری از ممتازهای محلی شده است. تولید کنندگان تجهیزات نیمه هادی، تحت روند توسعه داخلی، تقاضا برای قطعات سرامیکی دقیق تجهیزات نیمه هادی افزایش می یابد.

به دلیل جایگاه و اهمیت آن در تجهیزات نیمه هادی، قطعات سرامیکی پیشرفته باید الزامات عملکردی جامع تجهیزات نیمه هادی برای مواد در مکانیک مکانیک، مقاومت حرارتی، دی الکتریک، اسیدی و قلیایی و خوردگی پلاسما و الزامات دقت بالا را برآورده کند، زیرا قطعات سرامیکی در نیمه هادی ها تجهیزات معمولاً در اطراف ویفر قرار دارند و برخی حتی مستقیماً با ویفر تماس می گیرند. بنابراین کنترل یون ها و ذرات فلز روی سطح آن به شدت سخت است. علاوه بر این، از آنجایی که تولید قطعات سرامیکی برای دستگاه های نیمه هادی مستلزم صدور گواهینامه سازنده تجهیزات اصلی می باشد، بنابراین به صنعت با آستانه انحصار بالا تعلق دارد، همچنین در زمینه بسته بندی و آزمایش نیمه هادی، مواد سرامیکی نیز می تواند مورد استفاده قرار گیرد. آسترهای بسته بندی دستگاه نیمه هادی قدرت و کارت های کاوشگر تست.

زنجیره صنعت سرامیک نیمه هادی شامل پردازش ویفر نیمه هادی، دستگاه های نیمه هادی قدرت، بسته بندی و آزمایش شرکت های کاربردی پایین دستی است. تجهیزات لیتوگرافی، تجهیزات انتشار اکسیداسیون، تجهیزات اچ، تجهیزات حکاکی خشک، تجهیزات کاشت یون، تجهیزات رسوب فیلم، تجهیزات PVD، تجهیزات CVD، تجهیزات رسوب لایه اتمی (ALD)، تجهیزات پرداخت مکانیکی شیمیایی، تجهیزات بازپخت لیزری تجهیزات نیمه هادی پیشرفته شرکت ها؛ تجهیزات آماده سازی پودر، میکسر، دستگاه سنباده، دستگاه سه رول، تجهیزات دانه بندی اسپری، دستگاه قالب گیری تزریقی، دستگاه ریخته گری، تجهیزات لمینیت، تجهیزات پرس خشک، قالب گیری تزریقی، تجهیزات پرس ایزواستاتیک، تجهیزات چاپ روی صفحه، چربی زدایی، تجهیزات تف جوشی، CNC، دستگاه فرز، تجهیزات پرداخت، تجهیزات سندبلاست، تجهیزات لحیم کاری خلاء، تجهیزات ابزار تولید تجهیزات و لوازم جانبی شرکت. قطعات سرامیکی (بازوی دستی، چاک الکترواستاتیک، بخاری سرامیکی، حلقه آستر، نازل، محفظه، کارت پروب، شکاف سرامیکی و غیره)، سرامیک آلومینا، سرامیک متخلخل، سرامیک زیرکونیا، سرامیک نیترید آلومینیوم، سرامیک نیترید سیلیکون، کاربید سیلیکون سرامیک، سرامیک کاربید آلومینیوم سیلیکون و غیره.