آسیاب آینه اصلی برای نیمه هادی های دستگاه CMP

فناوری CMP (جلوگیری مکانیکی شیمیایی) یک فرآیند کلیدی برای دستیابی به سطوح یکنواخت و مسطح جهانی ویفر در تولید نیمه هادی است. این ماده اضافی را از سطح ویفر از طریق عمل هم افزایی خوردگی شیمیایی و آسیاب مکانیکی برای دستیابی به صافی جهانی در مقیاس نانو حذف می کند. فرآیند CMP شامل سه مرحله اصلی است: پرداخت، تمیز کردن و انتقال. در طول فرآیند پولیش، ترکیب شیمیایی مایع پولیش با مواد سطح ویفر واکنش داده و لایه‌ای را تشکیل می‌دهد که می‌توان آن را به صورت مکانیکی جدا کرد و سپس پد پولیش به صورت مکانیکی این لایه را جدا می‌کند تا به سطحی صاف دست یابد. دستگاه های CMP را می توان با توجه به نیازهای برنامه به دستگاه های سازگار 8 اینچی، 12 اینچی و 6/8 اینچی تقسیم کرد.

بازارها و شرکت های بزرگ

بازار اصلی تجهیزات CMP از سه بخش تشکیل شده است، تجهیزات CMP برای تولید ویفر سیلیکونی، تجهیزات CMP برای ریخته گری ویفر و تجهیزات CMP برای تولید بستر کاربید سیلیکون. با کاهش مداوم فرآیند تولید مدار مجتمع، تقاضا برای فرآیند CMP به تدریج در حال افزایش است، به ویژه در ساخت تراشه منطقی، تعداد مراحل فرآیند CMP گره های فرآیند پیشرفته به طور قابل توجهی افزایش می یابد. بازار CMP همچنان به رشد خود ادامه می دهد. به طور خاص، انتظار می رود ظرفیت تولید جدید در سرزمین اصلی از نرخ رشد بازار اصلی فراتر رود.

بازار جهانی تجهیزات CMP به شدت تحت انحصار Applied Materials، رهبر بازار جهانی تجهیزات CMP، ارائه راه‌حل‌های پیشرفته CMP است و محصولات آن کاربردهای مختلفی از فرآیندهای بالغ گرفته تا فرآیندهای پیشرفته را پوشش می‌دهند. Ebara، ژاپن، دارای حق ثبت اختراع برای فناوری خشک کردن/خشک کردن است و محصولات آن به دلیل قابلیت اطمینان بالا و راندمان تولید معروف هستند. آنها با هم بیش از 90 درصد بازار را در اختیار دارند.

در زمینه فرآیند بالغ، بنگاه های داخلی انحصار غول های خارجی را شکسته و سهم بازار مشخصی را به دست آورده اند. تولیدکنندگان داخلی تجهیزات CMP عمدتاً شامل Huahai Qingke هستند که کاربرد صنعتی فرآیند 28 نانومتری را درک کرده است، فناوری فرآیند 14 نانومتری در حال تأیید است و تنها سازنده ای است که می تواند تجهیزات CMP 12 اینچی را در چین ارائه دهد. Sco Precision تجهیزات CMP را برای تمام نیازمندی های فرآیند مسطح پیچیده در تولید IC فراهم می کند و از تولید IC از گره های فرآیند 0.09-0.35um پشتیبانی می کند. Jingyi Precision، تامین کننده تجهیزات CMP 8 اینچی، اولین تجهیزات تولید انبوه خط تولید 8 اینچی داخلی CMP را با حقوق مالکیت معنوی مستقل راه اندازی کرد. Hangzhou ZhongSI با موفقیت دستگاه های CMP 6 اینچی، 8 اینچی و 12 اینچی را برای مدارهای مجتمع، ویفرهای سیلیکونی بزرگ و نیمه هادی های نسل سوم توسعه داده است.

نظر:

1 ارتقاء فرآیند تراشه، کاربرد تجهیزات CMP بیشتر خواهد بود، فضای بازار، به ویژه فضای بازار داخلی در حال رشد است.

2. فن آوری تجهیزات داخلی به بهبود ادامه می دهد و بلوغ تجهیزات داخلی افزایش می یابد

3. همانطور که همه ما می دانیم، چندین شرکت داخلی می توانند آن را ایجاد کنند، بازار شروع به رول کردن کرد و آینده شرکت های پیشرو در فناوری یا شرکت هایی که زمینه های کاربردی جدید را باز می کنند شایسته انتظار است.

Fountyl Technologies PTE Ltd، بر صنعت تولید نیمه هادی تمرکز دارد، محصولات اصلی عبارتند از: پین چاک، چاک سرامیکی متخلخل، افکتور انتهایی سرامیکی، پرتو مربع سرامیکی، دوک سرامیکی، خوش آمدید به تماس و مذاکره!