خلاء در ساخت نیمه هادی ها بسیار مهم است، در صنعت نیمه هادی ها از محیط خلاء در فرآیندهای مختلفی استفاده می شود که شامل رسوب گیری بخار فیزیکی (PVD) ، Chemical V ...
کل فرآیند نیمه هادی باید به طور مکرر تمیز شود و فرآیند تمیز کردن از طریق صنعت نیمه هادی انجام می شود و بیش از 30٪ از کل فرآیند تولید را تشکیل می دهد.
