در فرآیند تولید ویفر، ویفر باید تا دمای خاصی گرم شود و یکنواختی دمای ویفر الزام بسیار سختی دارد، زیرا دمای یکنواخت ویفر...
به عنوان تجهیزات اصلی تولید تراشه، دستگاه لیتوگرافی EUV توجه زیادی را به خود جلب کرده است و اهمیت ASML بیش از پیش برجسته شده است و در این موج، الگوی s...
