مکنده الکترواستاتیک که به نام چاک الکترواستاتیک (ESC, e-Chuck) نیز شناخته می شود، فیکسچری است که از اصل جذب الکترواستاتیکی برای نگه داشتن و تثبیت جسم جذب شده، مناسب برای...
اگرچه تولیدکنندگان بیشتری برای نورپردازی برای لیتوگرافی EUV وجود خواهند داشت. اما در حال حاضر بازار تحت سلطه شرکت های ژاپنی است.
