چاک سرامیکی متخلخل را چاک خلاء نانومتخلخل نیز می نامند که به کره جامد یا خلاء یکنواخت تولید شده توسط یک فرآیند تولید پودر نانو و تعداد زیادی از مخازن اطلاق می شود.
ویژگی های کیفیت کریستال با کیفیت بالا لایه همپایی SiC باعث می شود که لایه همپایی باید دارای ساختار کریستالی با خلوص بالا و چگالی نقص کم باشد تا از قابلیت اطمینان اطمینان حاصل شود.
