یکی از مزایای EUV کاهش مراحل پردازش تراشه است و استفاده از EUV به جای فناوری سنتی چند گانه، مراحل رسوب گذاری، اچینگ و ... را کاهش می دهد.
در حال حاضر قطعات نیمه هادی خلاء داخلی معادل مرحله توسعه تجهیزات نیمه هادی داخلی در حدود 3 تا 5 سال پیش است و چندین تامین کننده داخلی قطعات مختلف ...
