Une introduction automatisée à la manipulation et au transfert de plaquettes

L'industrie de fabrication de plaquettes est l'industrie avec le plus haut degré d'automatisation dans toute la fabrication industrielle, et je crois personnellement qu'il n'y en a personne.

La raison pour laquelle le degré d'automatisation de la fabrication des plaquettes peut être si élevé est que le processus nécessite une haute précision, une grande propreté, une haute fiabilité et que la participation manuelle ne peut pas répondre à ces exigences. La seconde est l’argent.

Alors, quel niveau d’automatisation la fabrication des plaquettes a-t-elle atteint ? Cet article donne une brève introduction à la manipulation la plus simple des plaquettes.

Stockage sur plaquette

Les plaquettes sont stockées à l’aide d’une unité de mémoire standardisée appelée FOUP (Front Opening Unified Pod). Il s'agit d'une boîte de rangement de plaquettes. Cette boîte est conçue pour une manipulation automatique et constitue la base d’une automatisation complète.

Système de manipulation automatique de plaquettes AMHS

Le système de manutention automatique des matériaux (AMHS) est au cœur de la manipulation des plaquettes. On l’appelle parfois système de grue.

La grue est installée sur le rail du plafond intérieur et de nombreuses grues fonctionnent efficacement sur le rail sous le déploiement du système de contrôle.

La principale raison de courir au plafond est de gagner de la place. Les plaquettes produisent tellement d'appareils que la grue est chargée de transférer les matériaux entre des milliers d'appareils dans toute l'usine. Un rail de transmission au sol pourrait être comparable à une rue urbaine densément peuplée. Le coût de l’espace en salle blanche est élevé.

Fonctionnant au plafond de la grue, la liberté d'espace de fonctionnement est très grande, la position de l'équipement étant fixe, la grue peut atteindre le sommet de la machine à tout moment.

L'entrepôt de stockage de la plaquette est également installé au plafond et la grue se charge du stockage ou du retrait. De cette façon, tant que la machine de production est placée au sol, la machine peut être déchargée de manière dense,à condition que le personnel d'entretien puisse entrer.

La grue fonctionnant sur le sky rail est responsable du déplacement sur le sky rail, et est également responsable de la préhension et du levage du FOUP.

Une variété d'équipements de production sont conçus avec une plate-forme étendue pour accepter la grue soulevée vers le bas de la boîte à plaquettes.

Dans le domaine des équipements de manipulation automatique de plaquettes (AMHS), le marché mondial est actuellement dominé par Daifuku du Japon, Murata Machinery du Japon, SEMES de Samsung de Corée du Sud et d'autres sociétés, représentant environ 90 % des parts de marché. Étant donné que le système AMHS a un impact global sur la chaîne de production de fabrication, les clients sont très prudents dans leur choix, et les nouveaux fabricants nationaux d'AMHS doivent passer par un long processus de vérification pour entrer dans le domaine des semi-conducteurs, ce qui nécessite des avancées continues depuis des processus locaux simples pour dans l'ensemble, des processus avancés.

Chargement et déchargement de plaquettes (EFEM)

EFEM (Equipment Front End Module), l'anglais est pour décrire il s'agit d'un module d'accueil avant et arrière, nous, du point de vue de l'utilisateur, est le processus de chargement et de déchargement des plaquettes.

Chaque dispositif fonctionnel exploite une plaquette à la fois. L'EFEM se charge de sortir les plaquettes une à une de leur boîte et de les introduire dans l'équipement pour leur traitement. Terminez le traitement et remettez en morceaux. L'ensemble du processus de transfert et de traitement de la plaquette est effectué dans un espace fermé avec des exigences de propreté élevées, exempt de contamination externe et une protection absolue de la plaquette.

Le processus de fabrication des plaquettes, l'ensemble du processus est automatisé, a essentiellement atteint le niveau d'un atelier sans personnel. Cependant, des ingénieurs dotés de compétences techniques plus élevées sont nécessaires en arrière-plan pour le contrôle des programmes, le réglage des paramètres et la maintenance des équipements.

Quel est le niveau d’automatisation dans la fabrication des plaquettes ? Certains professionnels divisent l’automatisation en cinq niveaux :

Selon ce niveau, le degré d'automatisation de l'industrie des plaquettes est de 3-4. Bien entendu, le niveau de chaque fabricant de plaquettes est différent. La plupart des autres industries manufacturières électroniques ont un niveau d’automatisation de 2 à 3. Le degré d’automatisation a encore beaucoup de place à développer.

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