Square beam & guide rail foar ultra-precision bewegingsplatfoarm en deteksjeapparatuer

Nim de fakuüm chuck-assemblage as foarbyld, it materiaal brûkt yn 'e ierste 2-inch en 4-inch wafer-tiidrek is loftfeartaluminium, mar it is tsjinkaam op' e knelpunt fan ultra-hege platheid (better dan 1 mikron) yn it tiidrek fan grutte grutte wafers (8 "en mear as 8"), dy't kin net foldwaan oan de hurde yndeks fan ultra-hege flatness en wurdt eliminearre. Folgjende, alumina materiaal as in oergong, syn elastic modulus, licht gewicht, termyske conductivity en útwreiding koeffisient en silisiumkarbid dwerch, mar net op guon beskamsume; Nei de trochbraak yn 'e tariedingstechnology fan grutte grutte en komplekse spesjale-foarmige holle struktuer silisiumkarbidkeramyk, binne komponinten ynklusyf ultra-precision workpiece basis, ultra-precision air float guide, en wafer transmission earm opwurdearre.

Net allinich de boppeneamde silisiumkarbid keramyske dielen dy't foldogge oan 'e ultra-hege presyzje hurde yndikatoaren op platheid, parallelisme en fertikaal, foar de hege suverens silisiumkarbid keramyske dielen dy't nedich binne foar de waferdiffusjons-, doping-, etsprosessen yn' e semiconductor-yndustry , benammen yn 'e hege suverens CVDSiC materiaal tarieding technology, hat in folwoeksen proses technology, en hat realisearre de fabrikaazje fan hege suverens silisium karbid keramyske kristal boat, silisium carbid keramyske bearing plaat, silisium carbid keramyske lucht driuwende beweging platfoarm, silisium carbid ultra -precision moving platfoarm, silisium carbid gids rail, silisium carbid slide rail komponinten.

Yn 'e takomst sille wy de tapassing fan silisiumkarbidmaterialen yn' e semiconductor-yndustry fierder útwreidzje en bydrage oan it opwurdearjen fan 'e ketting fan' e semiconductor-yndustry en silisiumkarbid-keramyske yndustry. Sina's presys silisiumkarbid keramyske komponinten ûnôfhinklik ûndersyk en ynlânske tapassing promoasje is krekt begon, mei de krêftige ûntwikkeling fan healgelearderyndustry, sil de merkfraach nei dit soarte fan hege ein keramyske struktuer hieltyd grutter wurde, silisiumkarbid mei syn treflike fysike en gemyske eigenskippen, yn de semiconductor yndustry hat brede tapassing perspektyf.