Leave Your Message
Beam ceàrnagach & rèile treòrachaidh airson àrd-ùrlar gluasad ultra-chruinneas agus uidheamachd lorg

Prìomh toradh

Beam ceàrnagach & rèile treòrachaidh airson àrd-ùrlar gluasad ultra-chruinneas agus uidheamachd lorg

Àrd-ùrlar gluasad adhair ceirmeag silicon carbide, àrd-ùrlar gluasadach ultra-mionaideach carbide silicon, rèile treòrachaidh carbide sileaconach, rèile sleamhnachaidh carbide silicon, suirghe falamh carbide silicon, sgàthan carbide silicon, beam carbide silicon, clàr obrach carbide silicon, agus sreath de dh’ obair-obrach carbide silicon mionaideach Tha pàirtean structarail airson inneal lithography, mar aon de na prìomh phàirtean den inneal lithography. Is e a phrìomh obair an wafer a ghiùlan gus gluasad fìor-chruinneas àrd-astar a dhèanamh a rèir an t-slighe gluasaid ainmichte agus crìoch a chuir air sreath de ghnìomhan a dh’ fheumar airson nochdadh, a ’toirt a-steach suas is sìos, co-thaobhadh, tomhas ìomhaigh wafer agus foillseachadh, a dh’ fheumas cruinneas gluasad. de 2nm ann an cùis gluasad àrd-astar.

    A’ gabhail ris a’ cho-chruinneachadh chuck falamh mar eisimpleir, is e alùmanum itealain an stuth a thathas a’ cleachdadh anns an àm wafer 2 òirleach agus 4 òirleach as tràithe, ach tha e air tachairt ris a’ bhotal de rèidh ultra-àrd (nas fheàrr na 1 micron) aig àm meud mòr. wafers (8 "agus barrachd air 8"), nach urrainn coinneachadh ris a 'chlàr cruaidh de ultra-àrd rèidh agus tha e air a chuir às. An ath rud, stuth alùmanum mar eadar-ghluasad, a modulus elastagach, cuideam aotrom, seoltachd teirmeach agus co-èifeachd leudachaidh agus dwarf carbide silicon, ach chan ann air cuid de nàire; Às deidh an adhartas ann an teicneòlas ullachaidh de mheud mòr agus iom-fhillte structar falamh ceirmeag silicon carbide structar, tha co-phàirtean a ’toirt a-steach bunait obair-obrach ultra-chruinneas, stiùireadh fleòdraidh èadhair ultra-chruinneas, agus gàirdean tar-chuir wafer air an ùrachadh.

    Chan e a-mhàin na pàirtean ceirmeag silicon carbide gu h-àrd a choinnicheas ris na comharran cruaidh fìor àrd air rèidh, co-shìnte, agus inghearach, airson na pàirtean ceirmeag silicon carbide àrd-ghlan a tha riatanach airson na pròiseasan sgaoileadh wafer, dopadh, eisdeachd anns a ’ghnìomhachas semiconductor. , gu sònraichte ann an teicneòlas ullachaidh stuthan CVDSiC àrd-ghlan, tha teicneòlas pròiseas aibidh aige, agus tha e air faighinn a-mach saothrachadh bàta criostail ceirmeag silicon carbide àrd-ghlan, plàta giùlan ceirmeag silicon carbide, àrd-ùrlar gluasad adhair air bhog ceirmeag silicon carbide, carbide silicon ultra - àrd-ùrlar gluasad mionaideach, rèile treòrachaidh carbide silicon, co-phàirtean rèile sleamhnachaidh carbide silicon.

    Anns an àm ri teachd, leudaichidh sinn tuilleadh cleachdadh stuthan silicon carbide anns a ’ghnìomhachas semiconductor agus cuiridh sinn ri ùrachadh an t-sèine gnìomhachas semiconductor agus gnìomhachas ceirmeag silicon carbide. Tha sgrùdadh neo-eisimeileach air co-phàirtean ceirmeag silicon carbide mionaideach Sìona agus adhartachadh tagradh dachaigheil dìreach air tòiseachadh, le leasachadh làidir air gnìomhachas semiconductor, bidh iarrtas margaidh airson an seòrsa structar ceirmeag àrd-deireadh seo barrachd is barrachd, silicon carbide le a shàr corporra agus feartan ceimigeach, anns a’ ghnìomhachas semiconductor tha dùilean tagraidh farsaing.

    Chan e a-mhàin gu bheil feartan meacanaigeach sàr-mhath aig ceirmeag silicon carbide aig teòthachd an t-seòmair, leithid neart cromadh àrd, strì an aghaidh oxidation sàr-mhath, deagh sheasamh an aghaidh creimeadh, strì an aghaidh caitheamh àrd agus co-èifeachd brisidh ìosal, ach cuideachd feartan meacanaigeach teòthachd àrd (neart, neart èaladh, msaa.) na stuthan ceirmeag as ainmeile. Tha feartan an aghaidh creimeadh aig silicon carbide, strì an aghaidh teòthachd àrd, neart àrd, deagh ghiùlan teirmeach, strì an aghaidh buaidh ...

    Riatanasan inneal lithography airson structar clàr workpiece: Ultra-aotrom (lughdaich inertia gluasad, lughdaich luchdan motair), seasmhachd ultra-àrd (feumaidh innealachadh ultra-chruinneas gluasad agus suidheachadh àrd-chruinneas, a dh ’fheumas glè bheag de dh’ atharrachadh meud de leudachadh teirmeach agus factaran eile ).

    Comasan Fountyl

    Meud as àirde:1600mm.
    Gnàthachadh an structair:structar aotrom, faodar a dhealbhadh gus structar cuideam a lughdachadh.
    Cruinneas àrd:Faodar smachd a chumail air rèidh taobh a-staigh 5 microns no eadhon nas àirde de chruinneas.