Casa
Produtos
Plataforma flotante de aire poroso coa tecnoloxía de transferencia de carga do modo sen contacto para a industria de semicondutores
A plataforma flotante de aire tradicional xeralmente adopta tecnoloxía de estrangulamento de pequenos orificios, estrangulación de toros ou tecnoloxía de estrangulamento de fendas, que se caracteriza por unha tecnoloxía de procesamento simple, pero cando a presión do aire de subministración cambia, é fácil producir un fenómeno de asubío, o son é nítido e o rolamento. a capacidade tamén varía, o que non é axeitado para un ambiente de traballo de presión silencioso e estable.
Os substratos tradicionais de vidro TFT-LCD realízanse mediante brazos robóticos (Robots) e sistemas AGV (Vehículo guiado automatizado). Substrato de vidro no proceso de produción. É unha operación de contacto coa plataforma de desprazamento de carga (ou rolo). Cando o substrato de vidro está en contacto coa plataforma de cambio de carga ou o rolo, o contacto e a fricción provocan estes problemas de danos ou defectos de esquinas que faltan, rachaduras, danos, contaminación e electricidade estática na superficie do substrato de vidro e, a continuación, afectan á produción. O rendemento e a calidade do produto, ademais do uso da carga de transferencia de rotación do rolo, aínda teñen problemas técnicos que superar. Estes problemas teñen un profundo impacto na eficiencia de produción de substratos de vidro de gran tamaño e é necesario mellorar con urxencia. Se a tecnoloxía de plataforma flotante de aire sen contacto pode substituír os problemas derivados da tecnoloxía tradicional de cambio de carga de contacto, será unha solución eficaz. Vantaxes do sistema de flotación de aire:
1. Fricción cero.
2. Cero desgaste.
3. Movemento recto, movemento de rotación son aplicables.
4. Funcionamento silencioso e suave.
5. Maior amortecemento.
6. Eliminar o aceite.
A estrutura da plataforma flotante de aire está composta por cerámica nanoporosa incrustada na base para formar unha cámara de baleiro. Introdúcese aire comprimido limpo sen auga e sen aceite no espazo do modo de aire entre a superficie de apoio e o carril de guía flotante de aire a través do tubo de gas. O gas flúe na brecha do modo de aire para facer que a superficie de rodamento flote no carril de guía flotante de aire. O gas actúa como lubricante para mover ou transportar obxectos sen rozamento.
A construción do burato flotante de aire común:
a) Estrutura de estrangulamento do orificio
b) Estrutura porosa
O maior tamaño personalizado: lonxitude 1600 mm, ancho 1000 mm
O equipo de transporte e desprazamento de carga sen contacto é principalmente para mellorar os problemas causados pola tecnoloxía de manipulación tradicional despois de que o substrato de vidro se faga máis grande, porque no proceso de transporte e cambio de carga non está directamente en contacto co obxecto da operación, polo que pode evitar a aparición. de adhesión de contaminantes, estrés, electricidade estática e danos ao substrato de vidro. O material poroso, por outra banda, reduce significativamente o fluxo de gas, consegue unha presión de aire uniforme e unha boa distribución da almofada de aire e proporciona a suficiente altura de flotación necesaria para o funcionamento.