Casa
Produto principal
Feixe cadrada e carril guía para plataforma de movemento de ultraprecisión e equipos de detección
Tomando como exemplo o conxunto do portabrocas de baleiro, o material utilizado na era das obleas de 2 polgadas e 4 polgadas máis antiga é o aluminio de aviación, pero atopouse co pescozo de botella da planitude ultra alta (mellor que 1 micra) na era dos grandes tamaños. obleas (8 "e máis de 8"), que non poden cumprir o índice duro de planitud ultra alta e é eliminada. A continuación, o material de alúmina como unha transición, o seu módulo elástico, peso lixeiro, condutividade térmica e coeficiente de expansión e anano de carburo de silicio, pero non en certo vergoñento; Despois do gran avance na tecnoloxía de preparación de cerámicas de carburo de silicio de estrutura oca de gran tamaño e complexo, actualizáronse os compoñentes que inclúen a base de pezas de traballo de ultra precisión, a guía de flotador de aire de ultra precisión e o brazo de transmisión de obleas.
Non só as pezas cerámicas de carburo de silicio mencionadas anteriormente que cumpren os indicadores duros de ultra alta precisión sobre planitude, paralelismo e verticalidade, para as pezas cerámicas de carburo de silicio de alta pureza necesarias para os procesos de difusión de obleas, dopaxe e gravado na industria de semicondutores. , especialmente na tecnoloxía de preparación de material CVDSiC de alta pureza, ten unha tecnoloxía de proceso madura e deuse conta da fabricación de barcos de cristal cerámico de carburo de silicio de alta pureza, placa de rodamento de cerámica de carburo de silicio, plataforma de movemento flotante de aire de carburo de silicio, ultra de carburo de silicio. -plataforma móbil de precisión, carril de guía de carburo de silicio, compoñentes de carril deslizante de carburo de silicio.
No futuro, ampliaremos aínda máis a aplicación de materiais de carburo de silicio na industria de semicondutores e contribuiremos á mellora da cadea da industria de semicondutores e da industria cerámica de carburo de silicio. Acaba de comezar a investigación independente de compoñentes cerámicos de carburo de silicio de precisión de China e a promoción de aplicacións domésticas, co vigoroso desenvolvemento da industria de semicondutores, a demanda do mercado para este tipo de estrutura cerámica de gama alta será cada vez máis grande, o carburo de silicio co seu excelente físico e propiedades químicas, na industria de semicondutores ten amplas perspectivas de aplicación.
A cerámica de carburo de silicio non só ten excelentes propiedades mecánicas a temperatura ambiente, como alta resistencia á flexión, excelente resistencia á oxidación, boa resistencia á corrosión, alta resistencia ao desgaste e baixo coeficiente de fricción, senón tamén propiedades mecánicas a alta temperatura (resistencia, resistencia á fluencia, etc.) son os materiais cerámicos máis coñecidos. O carburo de silicio ten as características de resistencia á corrosión, resistencia a altas temperaturas, alta resistencia, boa condutividade térmica, resistencia ao impacto... etc.
Os requisitos da máquina de litografía para a estrutura da táboa de pezas de traballo: ultralixeiro (reducir a inercia do movemento, reducir a carga do motor), estabilidade ultra alta (o mecanizado de ultra precisión require un movemento e un posicionamento de alta precisión, que requiren unha deformación dimensional mínima da expansión térmica e outros factores). ), limpeza (alta dureza e alta resistencia ao desgaste), pode cumprir os requisitos técnicos de gran tamaño, parede delgada oca, estrutura complexa e pezas estruturais de carburo de silicio de precisión para o equipo clave da fabricación de circuítos integrados representado pola máquina de fotolitografía.
Capacidades de Fountyl
Tamaño máximo:1600 mm.
Personalización da estrutura:estrutura lixeira, pode deseñarse para reducir a estrutura de peso.
Alta precisión:A planitude pode controlarse dentro de 5 micras ou incluso cunha precisión superior.